FZ CZ Si-wafer op voorraad, 12 inch siliciumwafer, prime of test.
Introductie van de waferdoos
Gepolijste wafers
Siliciumwafers die aan beide zijden speciaal gepolijst zijn om een spiegelend oppervlak te verkrijgen. Superieure eigenschappen zoals zuiverheid en vlakheid bepalen de beste kenmerken van deze wafer.
Ongedoopte siliciumwafers
Ze worden ook wel intrinsieke siliciumwafers genoemd. Deze halfgeleider is een zuivere kristallijne vorm van silicium zonder de aanwezigheid van doteringsmiddelen in de hele wafer, waardoor het een ideale en perfecte halfgeleider is.
Gedoteerde siliciumwafers
N-type en P-type zijn de twee soorten gedoteerde siliciumwafers.
N-type gedoteerde siliciumwafers bevatten arseen of fosfor. Ze worden veel gebruikt bij de productie van geavanceerde CMOS-componenten.
Boorgeoxideerde P-type siliciumwafers. Deze worden voornamelijk gebruikt voor de productie van printplaten of fotolithografie.
Epitaxiale wafers
Epitaxiale wafers zijn conventionele wafers die worden gebruikt om een goede oppervlaktekwaliteit te verkrijgen. Epitaxiale wafers zijn verkrijgbaar in dikke en dunne varianten.
Meerlaagse epitaxiale wafers en dikke epitaxiale wafers worden ook gebruikt om het energieverbruik en de vermogensregeling van apparaten te reguleren.
Dunne epitaxiale wafers worden vaak gebruikt in hoogwaardige MOS-instrumenten.
SOI-wafers
Deze wafers worden gebruikt om dunne lagen enkelkristallijn silicium elektrisch te isoleren van de rest van de siliciumwafer. SOI-wafers worden veel gebruikt in siliciumfotonica en hoogwaardige RF-toepassingen. SOI-wafers worden ook gebruikt om parasitaire capaciteit in micro-elektronische apparaten te verminderen, wat de prestaties ten goede komt.
Waarom is de fabricage van wafers moeilijk?
Het snijden van 12-inch siliciumwafers is qua opbrengst erg lastig. Hoewel silicium hard is, is het ook bros. Ruwe plekken ontstaan doordat de randen van de gezaagde wafers de neiging hebben te breken. Diamantschijven worden gebruikt om de randen van de wafers glad te maken en eventuele beschadigingen te verwijderen. Na het snijden breken de wafers gemakkelijk omdat ze nu scherpe randen hebben. De randen van de wafers worden zo ontworpen dat breekbare, scherpe randen worden geëlimineerd en de kans op wegglijden wordt verminderd. Als gevolg van de randvorming wordt de diameter van de wafer aangepast, wordt de wafer afgerond (na het snijden is de afgesneden wafer ovaal) en worden inkepingen of georiënteerde vlakken gemaakt of op maat gemaakt.
Gedetailleerd diagram





