SiO2 dunne film thermische oxide silicium wafer 4 inch 6 inch 8 inch 12 inch

Het belangrijkste productieproces van geoxideerde siliciumwafers omvat doorgaans de volgende stappen: groei van monokristallijn silicium, snijden in wafers, polijsten, reinigen en oxideren.

Groei van monokristallijn silicium: Allereerst wordt monokristallijn silicium bij hoge temperaturen gekweekt met behulp van methoden zoals de Czochralski-methode of de floatzone-methode. Deze methode maakt de bereiding mogelijk van silicium-eenkristallen met een hoge zuiverheid en intact kristalrooster.

Snijden: Het gegroeide monokristallijne silicium heeft meestal een cilindrische vorm en moet in dunne wafers worden gesneden om als wafer-substraat te dienen. Het snijden gebeurt meestal met een diamantsnijder.

Polijsten: Het oppervlak van de gesneden wafer kan oneffen zijn en vereist chemisch-mechanisch polijsten om een ​​glad oppervlak te verkrijgen.

Reiniging: De gepolijste wafer wordt gereinigd om onzuiverheden en stof te verwijderen.

Oxideren: Tot slot worden de siliciumwafers in een oven met hoge temperatuur geplaatst voor een oxidatiebehandeling. Hierbij wordt een beschermende laag siliciumdioxide gevormd, wat de elektrische eigenschappen en mechanische sterkte verbetert en tevens dient als isolatielaag in geïntegreerde schakelingen.

Geoxideerde siliciumwafers worden voornamelijk gebruikt voor de productie van geïntegreerde schakelingen, zonnecellen en andere elektronische apparaten. Siliciumoxidewafers worden veel gebruikt in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitstekende mechanische eigenschappen, dimensionale en chemische stabiliteit, het vermogen om te functioneren bij hoge temperaturen en drukken, en hun goede isolerende en optische eigenschappen.

De voordelen ervan zijn onder andere een complete kristalstructuur, een zuivere chemische samenstelling, precieze afmetingen en goede mechanische eigenschappen. Deze kenmerken maken siliciumoxidewafers bijzonder geschikt voor de productie van hoogwaardige geïntegreerde schakelingen en andere micro-elektronische apparaten.