SiO2 dunne film thermisch oxide siliciumwafel 4 inch 6 inch 8 inch 12 inch
Introductie van wafeltjedoos
Het hoofdproces voor het vervaardigen van geoxideerde siliciumwafels omvat gewoonlijk de volgende stappen: groei van monokristallijn silicium, in plakken snijden, polijsten, reinigen en oxidatie.
Groei van monokristallijn silicium: Ten eerste wordt monokristallijn silicium bij hoge temperaturen gekweekt door methoden zoals de Czochralski-methode of de Float-zone-methode.Deze methode maakt de bereiding mogelijk van enkele siliciumkristallen met een hoge zuiverheid en roosterintegriteit.
In blokjes snijden: Het gegroeide monokristallijne silicium heeft meestal een cilindrische vorm en moet in dunne wafels worden gesneden om als wafelsubstraat te worden gebruikt.Snijden gebeurt meestal met een diamantslijper.
Polijsten: Het oppervlak van de gesneden wafel kan oneffen zijn en vereist chemisch-mechanisch polijsten om een glad oppervlak te verkrijgen.
Reiniging: De gepolijste wafel wordt gereinigd om onzuiverheden en stof te verwijderen.
Oxideren: Ten slotte worden de siliciumwafels in een hogetemperatuuroven geplaatst voor een oxidatiebehandeling om een beschermende laag van siliciumdioxide te vormen om de elektrische eigenschappen en mechanische sterkte ervan te verbeteren, en om te dienen als isolatielaag in geïntegreerde schakelingen.
De belangrijkste toepassingen van geoxideerde siliciumwafels zijn de vervaardiging van geïntegreerde schakelingen, de vervaardiging van zonnecellen en de vervaardiging van andere elektronische apparaten.Siliciumoxidewafels worden veel gebruikt op het gebied van halfgeleidermaterialen vanwege hun uitstekende mechanische eigenschappen, dimensionele en chemische stabiliteit, het vermogen om bij hoge temperaturen en hoge drukken te werken, evenals goede isolerende en optische eigenschappen.
De voordelen omvatten een volledige kristalstructuur, zuivere chemische samenstelling, nauwkeurige afmetingen, goede mechanische eigenschappen, enz. Deze kenmerken maken siliciumoxidewafels bijzonder geschikt voor de vervaardiging van hoogwaardige geïntegreerde schakelingen en andere micro-elektronische apparaten.
Gedetailleerd diagram
