P-type SiC-wafel 4H/6H-P 3C-N 6 inch dikte 350 μm met primaire vlakke oriëntatie
Specificatie4H/6H-P Type SiC-composietsubstraten Gemeenschappelijke parametertabel
6 inch diameter Siliciumcarbide (SiC) substraat Specificatie
Cijfer | Geen MPD-productieGraad (Z Cijfer) | Standaard productieGraad (P Cijfer) | Dummy-klasse (D Cijfer) | ||
Diameter | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
Dikte | 350 μm ± 25 μm | ||||
Waferoriëntatie | -Offas: 2,0°-4,0° richting [1120] ± 0,5° voor 4H/6H-P, op as: 〈111〉± 0,5° voor 3C-N | ||||
Dichtheid van de micropijp | 0 cm-2 | ||||
Weerstand | p-type 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
n-type 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 mΩꞏcm | |||
Primaire vlakke oriëntatie | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Primaire platte lengte | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Secundaire platte lengte | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Secundaire vlakke oriëntatie | Siliciumzijde naar boven: 90° CW. vanaf Prime flat ± 5,0° | ||||
Randuitsluiting | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Boog/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Ruwheid | Polijst Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Randscheuren door licht met hoge intensiteit | Geen | Cumulatieve lengte ≤ 10 mm, enkele lengte ≤2 mm | |||
Hexuitdraaiplaten door licht met hoge intensiteit | Cumulatief gebied ≤0,05% | Cumulatief gebied ≤0,1% | |||
Polytype gebieden door licht met hoge intensiteit | Geen | Cumulatief gebied≤3% | |||
Visuele koolstofinsluitingen | Cumulatief gebied ≤0,05% | Cumulatief gebied ≤3% | |||
Siliciumoppervlak krast door licht van hoge intensiteit | Geen | Cumulatieve lengte≤1×wafeldiameter | |||
Randchips hoog door intensiteitslicht | Geen toegestaan ≥0,2 mm breedte en diepte | 5 toegestaan, ≤1 mm elk | |||
Verontreiniging van siliciumoppervlak door hoge intensiteit | Geen | ||||
Verpakking | Multi-wafercassette of enkele wafercontainer |
Opmerkingen:
※ Defectlimieten zijn van toepassing op het gehele wafeloppervlak, behalve het randuitsluitingsgebied. # De krassen moeten worden gecontroleerd op Si-zijde o
De P-type SiC-wafel, 4H/6H-P 3C-N, speelt met zijn formaat van 6 inch en een dikte van 350 μm een cruciale rol in de industriële productie van hoogwaardige vermogenselektronica. De uitstekende thermische geleidbaarheid en hoge doorslagspanning maken het ideaal voor de productie van componenten zoals stroomschakelaars, diodes en transistors die worden gebruikt in omgevingen met hoge temperaturen, zoals elektrische voertuigen, elektriciteitsnetwerken en systemen voor hernieuwbare energie. Het vermogen van de wafer om efficiënt te werken onder zware omstandigheden zorgt voor betrouwbare prestaties in industriële toepassingen die een hoge vermogensdichtheid en energie-efficiëntie vereisen. Bovendien helpt de primaire vlakke oriëntatie bij nauwkeurige uitlijning tijdens de fabricage van het apparaat, waardoor de productie-efficiëntie en productconsistentie worden verbeterd.
De voordelen van N-type SiC-composietsubstraten omvatten:
- Hoge thermische geleidbaarheid: SiC-wafels van het P-type voeren de warmte efficiënt af, waardoor ze ideaal zijn voor toepassingen bij hoge temperaturen.
- Hoge doorslagspanning: Bestand tegen hoge spanningen, waardoor betrouwbaarheid in vermogenselektronica en hoogspanningsapparaten wordt gegarandeerd.
- Weerstand tegen ruwe omgevingen: Uitstekende duurzaamheid onder extreme omstandigheden, zoals hoge temperaturen en corrosieve omgevingen.
- Efficiënte stroomconversie: De dotering van het P-type vergemakkelijkt een efficiënte vermogensafhandeling, waardoor de wafer geschikt is voor energieconversiesystemen.
- Primaire vlakke oriëntatie: Zorgt voor een nauwkeurige uitlijning tijdens de productie, waardoor de nauwkeurigheid en consistentie van het apparaat worden verbeterd.
- Dunne structuur (350 μm): De optimale dikte van de wafer ondersteunt integratie in geavanceerde elektronische apparaten met beperkte ruimte.
Over het geheel genomen biedt de SiC-wafer van het P-type, 4H/6H-P 3C-N, een reeks voordelen die hem zeer geschikt maken voor industriële en elektronische toepassingen. De hoge thermische geleidbaarheid en doorslagspanning maken een betrouwbare werking in omgevingen met hoge temperaturen en hoge spanning mogelijk, terwijl de weerstand tegen zware omstandigheden duurzaamheid garandeert. De dotering van het P-type zorgt voor een efficiënte stroomomzetting, waardoor het ideaal is voor vermogenselektronica en energiesystemen. Bovendien zorgt de primaire vlakke oriëntatie van de wafer voor een nauwkeurige uitlijning tijdens het productieproces, waardoor de productieconsistentie wordt verbeterd. Met een dikte van 350 μm is het zeer geschikt voor integratie in geavanceerde, compacte apparaten.