8 inch siliciumwafel P/N-type (100) 1-100Ω dummy terugwinningssubstraat
Introductie van wafeltjedoos
De 8-inch siliciumwafel is een veelgebruikt siliciumsubstraatmateriaal en wordt veel gebruikt in het productieproces van geïntegreerde schakelingen. Dergelijke siliciumwafels worden vaak gebruikt om verschillende soorten geïntegreerde schakelingen te maken, waaronder microprocessors, geheugenchips, sensoren en andere elektronische apparaten. 8-inch siliciumwafels worden vaak gebruikt om chips van relatief grote afmetingen te maken, met als voordelen een groter oppervlak en de mogelijkheid om meer chips op een enkele siliciumwafel te maken, wat leidt tot een verhoogde productie-efficiëntie. De 8-inch siliciumwafel heeft ook goede mechanische en chemische eigenschappen, wat geschikt is voor grootschalige productie van geïntegreerde schakelingen.
Producteigenschappen
8" P/N type, gepolijste siliciumwafel (25 stuks)
Oriëntatie: 200
Weerstand: 0,1 - 40 ohm•cm (kan variëren van batch tot batch)
Dikte: 725 +/- 20um
Prime/Monitor/Testkwaliteit
MATERIËLE EIGENSCHAPPEN
Parameter | Kenmerkend |
Type/Doteringsmiddel | P, boor N, fosfor N, antimoon N, arseen |
Oriëntaties | <100>, <111> afsnijdoriëntaties volgens de specificaties van de klant |
Zuurstofgehalte | 1019ppmA Aangepaste toleranties volgens klantspecificatie |
Koolstofgehalte | < 0,6 ppmA |
MECHANISCHE EIGENSCHAPPEN
Parameter | Prime | Monitor/test A | Test |
Diameter | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Dikte | 725±20 µm (standaard) | 725±25 µm (standaard) 450 ± 25 µm 625±25 µm 1000±25 µm 1300±25 µm 1500±25 µm | 725±50 µm (standaard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Boog | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Wrap | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Randafronding | SEMI-SOA | ||
Markering | Alleen primair SEMI-Flat, SEMI-STD Flats Jeida Flat, Notch |
Parameter | Prime | Monitor/test A | Test |
Criteria aan de voorkant | |||
Oppervlakteconditie | Chemisch Mechanisch Gepolijst | Chemisch Mechanisch Gepolijst | Chemisch Mechanisch Gepolijst |
Oppervlakteruwheid | < 2°C | < 2°C | < 2°C |
Verontreiniging Deeltjes @ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Haze, Pits Sinaasappelschil | Geen | Geen | Geen |
Zag, Marks Strepen | Geen | Geen | Geen |
Criteria aan de achterkant | |||
Scheuren, kraaienpootjes, zaagsporen, vlekken | Geen | Geen | Geen |
Oppervlakteconditie | Bijtend geëtst |