6-inch N-type of P-type silicium wafer CZ Si wafer
Introductie van de waferdoos
Specificaties van siliciumwafels:
Groei van 6-inch siliciumwafels: CZ, MCZ, FZ.
6 Kwaliteitsklassen siliciumwafels: Prime, Test, Dummy, enz.
Diameter van de siliciumwafel: 6 inch/150 mm.
6-inch siliciumwafels met een dikte van 200 tot 3000 µm.
6-inch siliciumwafel. Afwerking: gesneden, geslepen, geëtst, SSP, DSP, enz.
Oriëntatie van 6-inch siliciumwafels: (100) (111) (110) (531) (553) enz.
Afsnijding van 6-inch siliciumwafels: tot 4 graden.
6-inch silicium wafer Type/Dopant: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsiek.
6-inch siliciumwafels. Soortelijke weerstand: CZ/MCZ: van 0,001 tot 1000 ohm-cm. FZ: tot 20k ohm-cm.
6-inch siliciumwafels met dunne films: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni, Fe, Mo, enz., coatingdiktes tot 20.000 Å/5%.
(b)LPCVD/PECVD: Oxide, nitride, siC, enz., coatingdiktes tot 200.000 Å/3%.
(c) Silicium epitaxiale wafers en epitaxiale diensten (SOS, GaN, GOI enz.).
Processen voor 6-inch siliciumwafels: a.DSP, ultradun, ultraplat, enz.
b. Verkleinen, slijpen, snijden, enz. c. MEMS.
Sinds 2010 is Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd. toegewijd aan het leveren van complete 4-inch siliciumwafers aan klanten, van debug-wafers (dummy wafers) en test-wafers (test wafers) tot product-wafers (prime wafers), evenals speciale wafers zoals oxide-wafers, nitride-wafers (Si3N4), aluminium- en kopergeplateerde siliciumwafers, SOI-wafers, MEMS-glas, op maat gemaakte ultradikke en ultraplatte wafers, enz., met afmetingen variërend van 50 mm tot 300 mm. We kunnen halfgeleiderwafers leveren met enkelzijdige/dubbelzijdige polijsting, verdunning, dicing, MEMS en andere verwerkings- en maatwerkdiensten.
Gedetailleerd diagram







