4H-semi HPSI 2inch SiC substraat wafer Productie Dummy Onderzoekskwaliteit

Siliciumcarbidesubstraten worden hoofdzakelijk onderverdeeld in geleidende en semi-isolerende types. Geleidende siliciumcarbidesubstraten en N-type substraten worden voornamelijk gebruikt voor epitaxiale GaN-gebaseerde LED's en andere opto-elektronische apparaten, SiC-gebaseerde vermogenselektronica, enz., en semi-isolerende SiC-siliciumcarbidesubstraten worden voornamelijk gebruikt voor de epitaxiale productie van GaN-hoogvermogen radiofrequentieapparaten. Bovendien verschillen de zeer zuivere semi-isolerende HPSI- en SI-semi-isolerende substraten, met een dragerconcentratie van 3,5 * 1013 ~ 8 * 1015/cm3 in het bereik van semi-isolerende substraten met een hoge zuiverheid, met een hoge elektronenmobiliteit. Semi-isolerende substraten zijn materialen met een hoge weerstand en een zeer hoge soortelijke weerstand, die over het algemeen worden gebruikt voor substraten voor microgolfapparatuur en niet-geleidend zijn.

Semi-isolerend siliciumcarbide substraatvel SiC-wafer

De kristalstructuur van SiC bepaalt de fysieke eigenschappen. Ten opzichte van Si en GaAs heeft SiC de volgende eigenschappen: de verboden bandbreedte is groot, bijna drie keer zo groot als die van Si, om te garanderen dat het apparaat ook bij hoge temperaturen betrouwbaar werkt op lange termijn. De doorslagsterkte is hoog, 10 keer zo groot als die van Si, om te garanderen dat de spanningscapaciteit van het apparaat wordt verbeterd. De verzadigingselektronenstroom is groot, 2 keer zo groot als die van Si, om de frequentie en vermogensdichtheid van het apparaat te verhogen. De thermische geleidbaarheid is hoog, hoger dan die van Si. De thermische geleidbaarheid is hoog, hoger dan die van Si. De thermische geleidbaarheid is hoog, hoger dan die van Si. De thermische geleidbaarheid is hoog, hoger dan die van Si. De thermische geleidbaarheid is hoog, meer dan drie keer zo groot als die van Si, wat de warmteafvoercapaciteit van het apparaat vergroot en de miniaturisatie van het apparaat mogelijk maakt.