150 mm 200 mm 6 inch 8 inch GaN op silicium Epi-laag wafer Galliumnitride epitaxiale wafer
Productiemethode
Het productieproces omvat het laten groeien van GaN-lagen op een saffiersubstraat met behulp van geavanceerde technieken zoals metaal-organische chemische dampafzetting (MOCVD) of moleculaire bundelepitaxie (MBE). Het depositieproces wordt uitgevoerd onder gecontroleerde omstandigheden om een hoge kristalkwaliteit en uniforme film te garanderen.
6-inch GaN-op-Sapphire-toepassingen: 6-inch saffiersubstraatchips worden veel gebruikt in microgolfcommunicatie, radarsystemen, draadloze technologie en opto-elektronica.
Enkele veel voorkomende toepassingen zijn onder meer
1. RF-eindversterker
2. LED-verlichtingsindustrie
3. Draadloze netwerkcommunicatieapparatuur
4. Elektronische apparaten in een omgeving met hoge temperaturen
5. Opto-elektronische apparaten
Productspecificaties
- Grootte: de substraatdiameter is 6 inch (ongeveer 150 mm).
- Oppervlaktekwaliteit: het oppervlak is fijn gepolijst voor een uitstekende spiegelkwaliteit.
- Dikte: De dikte van de GaN-laag kan worden aangepast aan specifieke vereisten.
- Verpakking: Het substraat wordt zorgvuldig verpakt met antistatische materialen om schade tijdens transport te voorkomen.
- Positioneringsranden: Het substraat heeft specifieke positioneringsranden die de uitlijning en bediening tijdens de voorbereiding van het apparaat vergemakkelijken.
- Overige parameters: Specifieke parameters zoals dunheid, soortelijke weerstand en dopingconcentratie kunnen worden aangepast aan de eisen van de klant.
Met hun superieure materiaaleigenschappen en uiteenlopende toepassingen zijn 6-inch saffiersubstraatwafels een betrouwbare keuze voor de ontwikkeling van hoogwaardige halfgeleiderapparaten in verschillende industrieën.
Substraat | 6” 1 mm <111> p-type Si | 6” 1 mm <111> p-type Si |
Epi DikGem | ~5um | ~7um |
Epi DikkeUnif | <2% | <2% |
Boog | +/-45um | +/-45um |
Kraken | <5 mm | <5 mm |
Verticale BV | >1000V | >1400V |
HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
HEMT dik Gem | 20-30 nm | 20-30 nm |
Insitu SiN-kap | 5-60 nm | 5-60 nm |
2DEG conc. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
Mobiliteit | ~2000cm2/Vs (<2%) | ~2000cm2/Vs (<2%) |
Rsh | <330 ohm/vierkant (<2%) | <330 ohm/vierkant (<2%) |