LiTaO3-wafers van 2 tot 8 inch, 10 x 10 x 0,5 mm, 1 stuk, 2 stuks, voor 5G/6G-communicatie.
Technische parameters
| Naam | LiTaO3 van optische kwaliteit | Geluidstafelniveau LiTaO3 |
| Axiaal | Z-snede +/- 0,2° | 36° Y-snede / 42° Y-snede / X-snede (+ / - 0,2 °) |
| Diameter | 76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100 ± 0,2 mm | 76,2 mm + /-0,3 mm 100 mm ± 0,3 mm of 150 ± 0,5 mm |
| Referentievlak | 22 mm + / - 2 mm | 22 mm +/- 2 mm 32 mm +/- 2 mm |
| Dikte | 500 µm ± 5 mm 1000 µm ± 5 mm | 500 µm ± 20 mm 350 µm ± 20 mm |
| TTV | ≤ 10 µm | ≤ 10 µm |
| Curie-temperatuur | 605 °C + / - 0,7 °C (DTA-methode) | 605 °C + / -3 °C (DTA-methode) |
| Oppervlaktekwaliteit | Dubbelzijdig polijsten | Dubbelzijdig polijsten |
| Afgeschuinde randen | randafronding | randafronding |
Belangrijkste kenmerken
1. Elektrische en optische prestaties
• Elektro-optische coëfficiënt: r33 bereikt 30 pm/V (X-cut), 1,5 keer hoger dan LiNbO3, waardoor ultrabreedband elektro-optische modulatie mogelijk is (>40 GHz bandbreedte).
• Breed spectraal responsbereik: transmissiebereik van 0,4–5,0 μm (8 mm dikte), met een ultraviolette absorptiegrens van slechts 280 nm, ideaal voor UV-lasers en kwantumdot-apparaten.
• Lage pyroelektrische coëfficiënt: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), wat stabiliteit garandeert in infraroodsensoren voor hoge temperaturen.
2. Thermische en mechanische eigenschappen
• Hoge thermische geleidbaarheid: 4,6 W/m·K (X-gesneden), viermaal zo hoog als die van kwarts, bestand tegen temperatuurschommelingen van -200–500 °C.
• Lage thermische uitzettingscoëfficiënt: CTE = 4,1 × 10⁻⁶/K (25–1000 °C), compatibel met siliciumverpakkingen om thermische spanning te minimaliseren.
3. Defectbeheersing en verwerkingsnauwkeurigheid
• Micropipe-dichtheid: <0,1 cm⁻² (8-inch wafers), dislocatiedichtheid <500 cm⁻² (geverifieerd via KOH-etsen).
• Oppervlaktekwaliteit: CMP-gepolijst tot Ra <0,5 nm, voldoet aan de vlakheidseisen voor EUV-lithografie.
Belangrijkste toepassingen
| Domein | Toepassingsscenario's | Technische voordelen |
| Optische communicatie | 100G/400G DWDM-lasers, hybride siliciumfotonica-modules | De brede spectrale transmissie en het lage golfgeleiderverlies (α <0,1 dB/cm) van de LiTaO3-wafer maken uitbreiding van de C-band mogelijk. |
| 5G/6G-communicatie | SAW-filters (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR-filters | 42°Y-gesneden wafers bereiken een Kt² van >15%, wat resulteert in een lage invoegverlies (<1,5 dB) en een hoge afvalfrequentie (>30 dB). |
| Kwantumtechnologieën | Enkelfotonendetectoren, parametrische downconversiebronnen | Een hoge niet-lineaire coëfficiënt (χ(2)=40 pm/V) en een lage donkere telrate (<100 tellingen/s) verhogen de kwantumgetrouwheid. |
| Industriële sensoren | Hogetemperatuurdruksensoren, stroomtransformatoren | De piëzo-elektrische respons (g33 >20 mV/m) en de hoge temperatuurtolerantie (>400 °C) van de LiTaO3-wafer maken deze geschikt voor extreme omstandigheden. |
XKH Services
1. Fabricage van wafers op maat
• Formaat en snijwijze: Wafers van 2 tot 8 inch met X/Y/Z-snede, 42°Y-snede en aangepaste hoeksneden (tolerantie van ±0,01°).
• Dopingcontrole: Fe- en Mg-dotering via de Czochralski-methode (concentratiebereik 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) om de elektro-optische coëfficiënten en de thermische stabiliteit te optimaliseren.
2. Geavanceerde procestechnologieën
• Periodieke polarisatie (PPLT): Smart-Cut-technologie voor LTOI-wafers, waarmee een domeinperiodeprecisie van ±10 nm en quasi-fase-aangepaste (QPM) frequentieomzetting wordt bereikt.
• Heterogene integratie: Si-gebaseerde LiTaO3-composietwafers (POI) met instelbare dikte (300–600 nm) en een thermische geleidbaarheid tot 8,78 W/m·K voor hoogfrequente SAW-filters.
3. Kwaliteitsmanagementsystemen
• Volledige testprocedure: Raman-spectroscopie (polytypeverificatie), XRD (kristalliniteit), AFM (oppervlaktemorfologie) en optische uniformiteitstest (Δn <5×10⁻⁵).
4. Wereldwijde ondersteuning van de toeleveringsketen
• Productiecapaciteit: Maandelijkse output >5.000 wafers (8-inch: 70%), met spoedlevering binnen 48 uur.
• Logistiek netwerk: Dekking in Europa, Noord-Amerika en Azië-Pacific via lucht- en zeevracht met temperatuurgecontroleerde verpakkingen.
