50,8 mm 2 inch GaN op saffier Epi-laag wafer
Toepassing van gallium nitride GaN epitaxiale plaat
Op basis van de prestaties van galliumnitride zijn galliumnitride-epitaxiale chips voornamelijk geschikt voor toepassingen met een hoog vermogen, hoge frequentie en lage spanning.
Dit komt tot uiting in:
1) Hoge bandgap: een hoge bandgap verbetert het spanningsniveau van galliumnitride-apparaten en kan een hoger vermogen leveren dan galliumarsenide-apparaten, wat vooral geschikt is voor 5G-communicatiebasisstations, militaire radar en andere gebieden;
2) Hoge conversie-efficiëntie: de aan-weerstand van elektronische schakelvermogensapparaten met galliumnitride is drie ordes van grootte lager dan die van siliciumapparaten, waardoor het aan-schakelverlies aanzienlijk kan worden verminderd;
3) Hoge thermische geleidbaarheid: de hoge thermische geleidbaarheid van galliumnitride zorgt voor uitstekende warmteafvoerprestaties, geschikt voor de productie van apparaten met een hoog vermogen, hoge temperaturen en andere gebieden;
4) Sterkte van het doorslagveld: Hoewel de sterkte van het doorslagveld van galliumnitride dicht bij die van siliciumnitride ligt, ligt de spanningstolerantie van galliumnitride-apparaten doorgaans rond de 1000 V. De spanning die veilig kan worden gebruikt, ligt doorgaans onder de 650 V. Dit komt door het halfgeleiderproces, een verkeerde aanpassing van het rooster en andere factoren.
Item | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
Afmetingen | e 50,8 mm ± 0,1 mm | ||
Dikte | 4,5±0,5 µm | 4,5±0,5um | |
Oriëntatie | C-vlak (0001) ±0,5° | ||
Geleidingstype | N-type (ongedoopt) | N-type (Si-gedopeerd) | P-type (Mg-gedopeerd) |
Soortelijke weerstand (300K) | < 0,5 Q・cm | < 0,05 Q·cm | ~ 10 Q・cm |
Dragerconcentratie | < 5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 | > 6x1016 cm-3 |
Mobiliteit | ~ 300 cm2/Vs | ~ 200 cm2/Vs | ~ 10 cm2/Vs |
Dislocatiedichtheid | Minder dan 5x108cm-2(berekend door FWHM's van XRD) | ||
Substraatstructuur | GaN op Sapphire (Standaard: SSP Optie: DSP) | ||
Bruikbaar oppervlak | > 90% | ||
Pakket | Verpakt in een cleanroomomgeving van klasse 100, in cassettes van 25 stuks of afzonderlijke wafercontainers, onder een stikstofatmosfeer. |
* Andere diktes kunnen worden aangepast
Gedetailleerd diagram


