4H-N/6H-N SiC Wafer Onderzoek productie Dummy grade Dia150mm Siliciumcarbide substraat
Specificatie voor substraat van siliciumcarbide (SiC) met een diameter van 6 inch
Cijfer | Nul MPD | Productie | Onderzoeksgraad | Dummy-cijfer |
Diameter | 150,0 mm±0,25 mm | |||
Dikte | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Waferoriëntatie | Op de as: <0001> ±0,5° voor 4H-SI | |||
Primair appartement | {10-10}±5,0° | |||
Primaire vlakke lengte | 47,5 mm±2,5 mm | |||
Randuitsluiting | 3 mm | |||
TTV/Boog/Warp | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Micropijpdichtheid | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Weerstand 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Ruwheid | Poolse Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm | |||
#Scheuren door licht met hoge intensiteit | Geen | 1 toegestaan, ≤2mm | Cumulatieve lengte ≤10 mm, enkele lengte ≤2 mm | |
*Hex-platen door licht met hoge intensiteit | Cumulatief oppervlak ≤1% | Cumulatief oppervlak ≤ 2% | Cumulatief oppervlak ≤ 5% | |
*Polytypegebieden door licht met hoge intensiteit | Geen | Cumulatief oppervlak ≤ 2% | Cumulatief oppervlak ≤ 5% | |
*&Krassen door licht met hoge intensiteit | 3 krassen op 1 x waferdiameter cumulatieve lengte | 5 krassen op 1 x waferdiameter cumulatieve lengte | 5 krassen op 1 x waferdiameter cumulatieve lengte | |
Randchip | Geen | 3 toegestaan, elk ≤0,5 mm | 5 toegestaan, elk ≤1 mm | |
Verontreiniging door licht met hoge intensiteit | Geen
|
Verkoop & Klantenservice
Inkoop van materialen
De afdeling materiaalinkoop is verantwoordelijk voor het verzamelen van alle grondstoffen die nodig zijn voor de productie van uw product. Volledige traceerbaarheid van alle producten en materialen, inclusief chemische en fysische analyses, is altijd beschikbaar.
Kwaliteit
Tijdens en na de productie of bewerking van uw producten zorgt de afdeling kwaliteitscontrole ervoor dat alle materialen en toleranties aan uw specificaties voldoen of deze overtreffen.
Dienst
We zijn er trots op dat we een team van verkooptechnici in dienst hebben met meer dan 5 jaar ervaring in de halfgeleiderindustrie. Ze zijn getraind om technische vragen te beantwoorden en u tijdig offertes te verstrekken.
Wij staan altijd voor u klaar als u een probleem heeft en lossen het binnen 10 uur op.
Gedetailleerd diagram

