4H-N/6H-N SiC-wafer voor onderzoeksdoeleinden, dummy-kwaliteit, diameter 150 mm, siliciumcarbide substraat.
Specificatie van een siliciumcarbide (SiC) substraat met een diameter van 6 inch
| Cijfer | Nul MPD | Productie | Onderzoeksgraad | Nepcijfer |
| Diameter | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
| Dikte | 4H-N | 350 µm ± 25 µm | ||
| 4H-SI | 500 µm ± 25 µm | |||
| Waferoriëntatie | Op de as: <0001> ±0,5° voor 4H-SI | |||
| Primaire flat | {10-10}±5,0° | |||
| Primaire vlakke lengte | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
| Randuitsluiting | 3 mm | |||
| TTV/Bow/Warp | ≤15 µm/≤40 µm/≤60 µm | |||
| Micropipe-dichtheid | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
| Soortelijke weerstand 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
| ≥1E5Ω!cm | ||||
| Ruwheid | Poolse Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm | |||
| #Scheurtjes veroorzaakt door licht met hoge intensiteit | Geen | 1 toegestaan, ≤2 mm | Cumulatieve lengte ≤10 mm, individuele lengte ≤2 mm | |
| *Zeshoekige platen door middel van licht met hoge intensiteit | Cumulatief oppervlak ≤1% | Cumulatief oppervlak ≤ 2% | Cumulatief oppervlak ≤ 5% | |
| *Polytypegebieden door middel van licht met hoge intensiteit | Geen | Cumulatief oppervlak ≤ 2% | Cumulatief oppervlak ≤ 5% | |
| *&Krassen veroorzaakt door fel licht | 3 krassen per 1 x waferdiameter cumulatieve lengte | 5 krassen per 1 x waferdiameter cumulatieve lengte | 5 krassen per 1 x waferdiameter cumulatieve lengte | |
| Randchip | Geen | 3 toegestaan, ≤0,5 mm elk | 5 toegestaan, ≤1 mm elk | |
| Verontreiniging door licht met hoge intensiteit | Geen
| |||
Verkoop en klantenservice
Inkoop van materialen
De inkoopafdeling is verantwoordelijk voor het verzamelen van alle grondstoffen die nodig zijn voor de productie van uw product. Volledige traceerbaarheid van alle producten en materialen, inclusief chemische en fysische analyses, is altijd beschikbaar.
Kwaliteit
Tijdens en na de productie of bewerking van uw producten is de afdeling kwaliteitscontrole betrokken bij het waarborgen dat alle materialen en toleranties voldoen aan of zelfs overtreffen uw specificaties.
Dienst
We zijn er trots op dat onze sales engineers meer dan 5 jaar ervaring hebben in de halfgeleiderindustrie. Ze zijn getraind om technische vragen te beantwoorden en tijdig offertes op maat te leveren.
Wij staan altijd voor u klaar als u een probleem heeft en lossen het binnen 10 uur op.



