Ultraprecisie SiC-luchtlagerplatform

Uitgelichte afbeelding van een uiterst nauwkeurig SiC-luchtlagerplatform

Korte beschrijving:

Door de voortdurende evolutie van de halfgeleiderindustrie worden steeds hogere prestatie-eisen gesteld aan verwerkings- en inspectieapparatuur. Voortbouwend op onze uitgebreide expertise in bewegingsbesturing en positionering op nanometerniveau, hebben we een vlakke H-vormige ultraprecieze luchtlagerstage met dubbele as ontwikkeld.

Stuur ons een e-mail.

Functies

Gedetailleerd diagram

Overzicht

Dankzij de eindige-elementenmethode geoptimaliseerde siliciumcarbide (SiC) keramische structuur en de gecompenseerde luchtlagertechnologie biedt het podium een uitzonderlijke nauwkeurigheid, stijfheid en dynamische respons. Het is bij uitstek geschikt voor:

Halfgeleiderverwerking en -inspectie
Micro-/nanofabricage en metrologie
Vliegslijpen en polijsten op nanometerschaal
Hogesnelheidsprecisiescanning

Belangrijkste kenmerken

SiC luchtlagergeleidingvoor ultrahoge stijfheid en precisie
Hoge dynamiek: snelheid tot 1 m/s, versnelling tot 4 g, snelle bezinking
Dubbele aandrijving portaal Y-asgarandeert een hoog draagvermogen en stabiliteit.
Encoderopties: optisch rooster of laserinterferometer
Positioneringsnauwkeurigheid: ±0,15 μm;herhaalbaarheid: ±75 nm
Geoptimaliseerde kabelgeleidingvoor een strak ontwerp en betrouwbaarheid op lange termijn.
Aanpasbare configuratiesvoor toepassingsspecifieke behoeften

Uiterst nauwkeurig ontwerp en direct aangedreven, contactloze architectuur.

SiC keramisch frame: Ongeveer 5 keer zo stijf als aluminiumlegering en ongeveer 5 keer lagere thermische uitzetting, wat zorgt voor stabiliteit bij hoge snelheden en thermische robuustheid.
Gecompenseerd luchtlager: Het gepatenteerde ontwerp verbetert de stijfheid, het draagvermogen en de bewegingsstabiliteit.
Dynamische prestatiesOndersteunt snelheden tot 1 m/s en versnellingen tot 4 g, ideaal voor processen met een hoge doorvoer.
Naadloze integratieCompatibel met trillingsisolatiesystemen, draaiplateaus, kantelmodules en waferhandlingplatforms.
KabelbeheerEen gecontroleerde buigradius minimaliseert spanningen en verlengt de levensduur.

Kernloze lineaire motor: Vloeiende beweging zonder wrijvingskracht.
MultimotoraandrijvingDe plaatsing van de motor in het lastvlak verbetert de rechtheid, vlakheid en hoeknauwkeurigheid.
Thermische isolatieDe motoren zijn geïsoleerd van de podiumconstructie; optionele lucht- of waterkoeling voor zware belastingcycli.

Specificaties

Model	400-400	500-500	600-600
Assen	X (scan) / Y (stap)	X (scan) / Y (stap)	X (scan) / Y (stap)
Verplaatsing (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Nauwkeurigheid (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Herhaalbaarheid (nm)	±75	±100	±100
Resolutie (nm)	0,3	0,3	0,3
Maximale snelheid (m/s)	1	1	1
Versnelling (g)	4	4	4
Rechtheid (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabiliteit (nm)	±5	±5	±5
Maximale belasting (kg)	20	20	20
Stampen/rollen/gieren (boogseconden)	±1	±1	±1

Testomstandigheden:

Luchttoevoer: schoon, droog; dauwpunt ≤ 0°F; deeltjesfiltratie ≤ 0,25 μm; of 99,99% stikstof.
De nauwkeurigheid werd gemeten op 25 mm boven het midden van het podium bij 20 ± 1 °C en 40-60% relatieve luchtvochtigheid.

Toepassingen

Halfgeleiderlithografie, inspectie en waferverwerking
Micro-/nanofabricage en precisiemetrologie
Hoogwaardige optische productie en interferometrie
Lucht- en ruimtevaart en geavanceerd wetenschappelijk onderzoek

Veelgestelde vragen – Luchtlagerstage van siliciumcarbide

1. Wat is een luchtlagertrap?

Een luchtgelagerd platform maakt gebruik van een dunne laag perslucht tussen het platform en de geleiding om de benodigde ondersteuning te bieden.wrijvingsloze, slijtagevrije en ultragladde bewegingIn tegenstelling tot conventionele mechanische lagers elimineert het stick-slip-effecten, levert het nauwkeurigheid op nanometerniveau en garandeert het betrouwbaarheid op lange termijn.

2. Waarom wordt siliciumcarbide (SiC) gebruikt voor de podiumstructuur?

Hoge stijfheid: ~5× die van aluminiumlegering, waardoor vervorming tijdens dynamische beweging tot een minimum wordt beperkt.
Lage thermische uitzettingOngeveer 5 keer lager dan aluminium, met behoud van nauwkeurigheid bij temperatuurschommelingen.
LichtgewichtLagere dichtheid in vergelijking met staal, waardoor hoge snelheden en acceleratie mogelijk zijn.
Uitstekende stabiliteit: Superieure demping en stijfheid voor uiterst precieze positionering.

3. Vereist het podium smering of onderhoud?

Traditionele smering is niet nodig, aangezien er geen sprake is vangeen mechanisch contactHet aanbevolen onderhoud omvat:

Leveringschone, droge perslucht of stikstof
Periodieke inspectie van filters en drogers
Bewakingskabels en koelsystemen

4. Wat zijn de eisen aan de luchttoevoer?

Dauwpunt: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Deeltjesfiltratie: ≤ 0,25 μm
Schone, droge lucht of 99,99% zuivere stikstof
Stabiele druk met minimale schommelingen.

Over ons

XKH is gespecialiseerd in de ontwikkeling, productie en verkoop van hoogwaardige optische glassoorten en nieuwe kristalmaterialen. Onze producten worden gebruikt in de optische elektronica, consumentenelektronica en de militaire sector. We bieden saffieren optische componenten, lenskappen voor mobiele telefoons, keramiek, LT, siliciumcarbide (SIC), kwarts en halfgeleiderkristalwafers. Dankzij onze expertise en geavanceerde apparatuur blinken we uit in de verwerking van niet-standaard producten en streven we ernaar een toonaangevende hightech onderneming in opto-elektronische materialen te worden.