Keramische plaat van siliciumcarbide (SiC)

Korte beschrijving:

Siliciumcarbide (SiC) keramische platen zijn zeer sterke, zeer zuivere, geavanceerde keramische componenten die zijn ontworpen voor omgevingen die uitzonderlijke thermische stabiliteit, mechanische robuustheid en chemische bestendigheid vereisen. Dankzij hun uitstekende hardheid, lage dichtheid en superieure thermische geleidbaarheid worden SiC-platen veelvuldig gebruikt in de halfgeleiderindustrie, hogetemperatuurovens, precisieapparatuur en corrosieve industriële omgevingen.

Stuur ons een e-mail.

Functies

Gedetailleerd diagram

Productoverzicht

Deze platen behouden hun structurele integriteit onder extreme omstandigheden, waardoor ze een ideale materiaaloplossing vormen voor de volgende generatie hoogwaardige apparatuur.

Belangrijkste kenmerken en eigenschappen

Hoge hardheid en slijtvastheid– Vergelijkbaar met diamant, wat een lange levensduur garandeert.
Lage thermische uitzetting– Minimaliseert vervorming bij snelle verhitting of afkoeling.
Hoge thermische geleidbaarheid– Efficiënte warmteafvoer voor thermische regelsystemen.
Uitstekende chemische stabiliteit– Bestand tegen zuren, basen en plasma-omgevingen.
Lichtgewicht maar toch extreem sterk– Hoge sterkte-gewichtsverhouding in vergelijking met metalen.
Uitstekende prestaties bij hoge temperaturen.– Werktemperaturen tot 1600 °C (afhankelijk van de kwaliteit).
Sterke mechanische stijfheid– Ideaal voor nauwkeurige ondersteuning en structurele stabiliteit.

Productiemethode

SiC-keramische platen worden doorgaans geproduceerd via een van de volgende processen:

• Reactiegebonden siliciumcarbide (RBSC / RBSiC)

Gevormd door het infiltreren van gesmolten silicium in een poreuze SiC-voorvorm.
Kenmerken: hoge sterkte, goede bewerkbaarheid en dimensionale stabiliteit.
Geschikt voor grote platen die een nauwkeurige vlakheidscontrole vereisen.

• Gesinterd siliciumcarbide (SSiC)

Geproduceerd door middel van drukvrij sinteren van zeer zuiver SiC-poeder.
Biedt superieure zuiverheid, sterkte en corrosiebestendigheid.
Ideaal voor halfgeleider- en chemische toepassingen die ultraschone omstandigheden vereisen.

• CVD-siliciumcarbide (CVD-SiC)

Chemisch dampafzettingsproces
Uiterst zuiver, extreem dicht en een ultraglad oppervlak.
Vaak gebruikt in dragers van halfgeleiderwafels, susceptoren en onderdelen van vacuümkamers.

Toepassingen

SiC-keramische platen worden veelvuldig gebruikt in diverse industrieën:

Halfgeleiders en elektronica

Wafer-dragerplaten
Susceptoren
Onderdelen van een diffusieoven
Onderdelen van de ets- en afzettingskamer

Onderdelen van een hogetemperatuuroven

Steunplaten
Ovenmeubels
Isolatie en bescherming van verwarmingssystemen

Industriële apparatuur

Mechanische slijtplaten
Schuifmatten
Pomp- en kleponderdelen
Chemisch corrosiebestendige platen

Lucht- en ruimtevaart en defensie

Lichtgewicht, zeer sterke constructieplaten
Hittebestendige afschermingscomponenten

Specificaties en aanpassingsmogelijkheden

SiC-keramische platen kunnen worden vervaardigd volgens klantspecifieke tekeningen:

• Afmetingen:
Dikte: 0,5–30 mm
Maximale zijlengte: tot 600 mm (varieert per proces)

• Tolerantie:
±0,01–0,05 mm, afhankelijk van de bewerkingsgraad.

• Oppervlakteafwerking:

Grond / overlappend
Gepolijst (Ra < 5 nm voor CVD-SiC)
gesinterd oppervlak

• Materiaalkwaliteiten:
RBSiC / SSiC / CVD-SiC

• Vormopties:
Platte platen, vierkante platen, ronde platen, platen met sleuven, geperforeerde platen, enz.

Veelgestelde vragen over kwartsglazen

Vraag 1: Wat is het verschil tussen RBSiC- en SSiC-platen?

A:RBSiC biedt een goede mechanische sterkte en prijs-kwaliteitverhouding, terwijl SSiC een hogere zuiverheid, betere corrosiebestendigheid en hogere sterkte heeft. SSiC heeft de voorkeur voor toepassingen in de halfgeleider- en chemische industrie.

Vraag 2: Zijn SiC-keramische platen bestand tegen thermische schokken?

A:Ja. SiC heeft een lage thermische uitzetting en een hoge thermische geleidbaarheid, wat zorgt voor een uitstekende thermische schokbestendigheid.

Vraag 3: Kunnen de platen gepolijst worden voor toepassingen met een spiegelend oppervlak?

A:Ja. CVD-SiC en zeer zuiver SSiC kunnen een spiegelgladde afwerking bereiken voor optische of halfgeleidertoepassingen.

Vraag 4: Ondersteunt u maatwerkbewerking?

A:Ja. Platen kunnen worden vervaardigd volgens uw tekeningen, inclusief gaten, sleuven, uitsparingen en speciale vormen.

Over ons

XKH is gespecialiseerd in de ontwikkeling, productie en verkoop van hoogwaardige optische glassoorten en nieuwe kristalmaterialen. Onze producten worden gebruikt in de optische elektronica, consumentenelektronica en de militaire sector. We bieden saffieren optische componenten, lenskappen voor mobiele telefoons, keramiek, LT, siliciumcarbide (SIC), kwarts en halfgeleiderkristalwafers. Dankzij onze expertise en geavanceerde apparatuur blinken we uit in de verwerking van niet-standaard producten en streven we ernaar een toonaangevende hightech onderneming in opto-elektronische materialen te worden.