Vorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiek
Gedetailleerd diagram
Introductie van siliciumcarbide keramische vorkarm/hand
DeVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekis een geavanceerd handlingcomponent, ontwikkeld voor uiterst precieze automatiseringssystemen, met name in de halfgeleider- en optische industrie. Dit component heeft een opvallend U-vormig ontwerp, geoptimaliseerd voor waferhandling, waardoor zowel mechanische sterkte als maatnauwkeurigheid onder extreme omstandigheden worden gegarandeerd. De component is vervaardigd van siliciumcarbidekeramiek met een hoge zuiverheidsgraad.vorkarm/handbiedt uitzonderlijke stijfheid, thermische stabiliteit en chemische bestendigheid.
Naarmate halfgeleiderapparaten evolueren naar fijnere geometrieën en nauwere toleranties, wordt de vraag naar contaminatievrije en thermisch stabiele componenten steeds kritischer.Vorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekgaat deze uitdaging aan door een lage deeltjesgeneratie, ultragladde oppervlakken en een robuuste structurele integriteit te bieden. Of het nu gaat om wafertransport, substraatpositionering of robotgereedschapskoppen, dit onderdeel is ontworpen voor betrouwbaarheid en een lange levensduur.
Belangrijkste redenen om hiervoor te kiezenVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekerbij betrekken:
-
Minimale thermische uitzetting voor maatnauwkeurigheid
-
Hoge hardheid voor een lange levensduur
-
Weerstand tegen zuren, logen en reactieve gassen
-
Compatibiliteit met ISO-klasse 1 cleanroomomgevingen
Productieprincipe van siliciumcarbide keramische vorkarm/hand
DeVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekwordt geproduceerd via een uiterst gecontroleerd keramisch verwerkingsproces dat is ontworpen om superieure materiaaleigenschappen en maatvastheid te garanderen.
1. Poederbereiding
Het proces begint met de selectie van ultrafijne siliciumcarbidepoeders. Deze poeders worden gemengd met bindmiddelen en sinterhulpmiddelen om verdichting en verdichting te vergemakkelijken.vorkarm/hand, β-SiC of α-SiC poeders worden gebruikt om zowel hardheid als taaiheid te garanderen.
2. Vormgeven en voorvormen
Afhankelijk van de complexiteit van devorkarm/handBij het ontwerp wordt het onderdeel gevormd door middel van isostatisch persen, spuitgieten of slipgieten. Dit maakt complexe geometrieën en dunwandige structuren mogelijk, cruciaal voor het lichte gewicht van het onderdeel.Vorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiek.
3. Hogetemperatuursintering
Sinteren vindt plaats bij temperaturen boven 2000 °C in een vacuüm- of argonatmosfeer. In deze fase transformeert het groene object in een volledig verdicht keramisch onderdeel.vorkarm/handbereikt een bijna theoretische dichtheid en biedt uitstekende mechanische en thermische eigenschappen.
4. Precisiebewerking
Na het sinteren, deVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekwordt geslepen met diamant en CNC-bewerkt. Dit garandeert een vlakheid binnen ±0,01 mm en maakt het mogelijk om montagegaten en positioneringsvoorzieningen aan te brengen die essentieel zijn voor de installatie in geautomatiseerde systemen.
5. Oppervlakteafwerking
Polijsten vermindert de oppervlakteruwheid (Ra < 0,02 μm), essentieel voor het verminderen van deeltjesproductie. Optionele CVD-coatings kunnen worden aangebracht om de plasmaweerstand te verbeteren of functionaliteit toe te voegen, zoals antistatisch gedrag.
Gedurende dit proces worden kwaliteitscontroleprotocollen toegepast om deVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekpresteert betrouwbaar in de meest gevoelige toepassingen.
Parameters van siliciumcarbide keramische vorkarm/hand
| Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating | ||
| SiC-CVD-eigenschappen | ||
| Kristalstructuur | FCC β-fase | |
| Dikte | g/cm³ | 3.21 |
| Hardheid | Vickers-hardheid | 2500 |
| Korrelgrootte | μm | 2~10 |
| Chemische zuiverheid | % | 99,99995 |
| Warmtecapaciteit | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimatietemperatuur | ℃ | 2700 |
| Felexurale kracht | MPa (RT 4-punts) | 415 |
| Young's modulus | Gpa (4pt bocht, 1300℃) | 430 |
| Thermische uitzetting (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Thermische geleidbaarheid | (W/mK) | 300 |
Toepassingen van siliciumcarbide keramische vorkarm/hand
DeVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekwordt veel gebruikt in industrieën waar hoge zuiverheid, stabiliteit en mechanische precisie essentieel zijn. Deze omvatten:
1. Halfgeleiderproductie
Bij de fabricage van halfgeleiders is deVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekWordt gebruikt voor het transport van siliciumwafers binnen procesapparatuur zoals etskamers, depositiesystemen en inspectieapparatuur. De thermische weerstand en maatnauwkeurigheid maken het ideaal voor het minimaliseren van scheefstand en verontreiniging van wafers.
2. Productie van displaypanelen
Bij de productie van OLED- en LCD-schermen is devorkarm/handWordt toegepast in pick-and-place-systemen, waar het kwetsbare glassubstraten verwerkt. De lage massa en hoge stijfheid maken snelle en stabiele bewegingen mogelijk zonder trillingen of doorbuiging.
3. Optische en fotonische systemen
Voor de uitlijning en positionering van lenzen, spiegels of fotonische chips is deVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekbiedt trillingsvrije ondersteuning, essentieel bij laserbewerking en precisiemetrologietoepassingen.
4. Lucht- en ruimtevaart- en vacuümsystemen
In optische systemen en vacuüminstrumenten in de lucht- en ruimtevaart zorgt de niet-magnetische, corrosiebestendige structuur van dit onderdeel voor stabiliteit op lange termijn.vorkarm/handkan ook in ultrahoog vacuüm (UHV) werken zonder dat er gassen vrijkomen.
Op al deze gebieden is deVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekovertreft traditionele alternatieven van metaal of polymeer op het gebied van betrouwbaarheid, reinheid en levensduur.
Veelgestelde vragen over siliciumcarbide keramische vorkarm/hand
V1: Welke wafergroottes worden ondersteund door de siliciumcarbide keramische vorkarm/hand?
Devorkarm/handKan worden aangepast voor wafers van 150 mm, 200 mm en 300 mm. De vorkspanwijdte, armbreedte en gatenpatronen kunnen worden aangepast aan uw specifieke automatiseringsplatform.
V2: Is de keramische vorkarm/hand van siliciumcarbide compatibel met vacuümsystemen?
Ja. Devorkarm/handGeschikt voor zowel laag- als ultrahoog vacuümsystemen. De uitgassing is laag en er komen geen deeltjes vrij, waardoor het ideaal is voor cleanrooms en vacuümomgevingen.
V3: Kan ik coatings of oppervlaktemodificaties aanbrengen op de vorkarm/hand?
Zeker. DeVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekKan worden gecoat met CVD-SiC-, koolstof- of oxidelagen om de plasmabestendigheid, antistatische eigenschappen of oppervlaktehardheid te verbeteren.
V4: Hoe wordt de kwaliteit van de vorkarm/hand gecontroleerd?
ElkVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiekOndergaat een dimensionale inspectie met behulp van CMM- en lasermetrologietools. De oppervlaktekwaliteit wordt geëvalueerd via SEM en contactloze profilometrie om te voldoen aan de ISO- en SEMI-normen.
V5: Wat is de levertijd voor bestellingen van aangepaste vorkarmen/handarmen?
De levertijd bedraagt doorgaans 3 tot 5 weken, afhankelijk van de complexiteit en de hoeveelheid. Rapid prototyping is beschikbaar voor spoedaanvragen.
Deze FAQ's zijn bedoeld om ingenieurs en inkoopteams te helpen inzicht te krijgen in de mogelijkheden en opties die beschikbaar zijn bij het selecteren van eenVorkarm/hand van siliciumcarbidekeramiek.
Over ons
XKH is gespecialiseerd in hightech ontwikkeling, productie en verkoop van speciaal optisch glas en nieuwe kristalmaterialen. Onze producten zijn geschikt voor optische elektronica, consumentenelektronica en het leger. We leveren optische componenten van saffier, lenskappen voor mobiele telefoons, keramiek, LT, siliciumcarbide (SIC), kwarts en halfgeleiderkristalwafers. Met onze expertise en geavanceerde apparatuur blinken we uit in de verwerking van niet-standaardproducten en streven we ernaar een toonaangevende hightechonderneming te worden op het gebied van opto-elektronische materialen.
