Saffierbuis saffierstaven speciale vorm hoge druk KY en EFG
Beschrijving
Saffierstaven worden in een breed scala aan toepassingen gebruikt. Een saffierstaaf kan worden gemaakt met alle oppervlakken gepolijst voor optische en slijtagetoepassingen, of met alle oppervlakken fijngeslepen (ongepolijst) om als isolator te dienen.
Technologie
Tijdens het proces waarbij saffierbuizen met behulp van een kiem uit een smelt worden getrokken, wordt de longitudinale temperatuurgradiënt in de zone tussen het gestolde front en het trekgebied, waar de temperatuur tussen 1850 en 1900 °C ligt, gehandhaafd op maximaal 30 °C/cm. De aldus gevormde buis wordt gegloeid bij een temperatuur tussen 1950 en 2000 °C door de temperatuur met 30 tot 40 °C/min te verhogen en de buis gedurende 3 tot 4 uur op deze temperatuur te houden. Daarna wordt de buis afgekoeld tot kamertemperatuur met een snelheid van 30-40 °C/min.
Toepassingen in de halfgeleiderverwerking:
(HPD CVD, PECVD, droog etsen, nat etsen)
Plasma-applicatorbuis
Procesgasinjectormondstukken
Eindpuntdetector
Excimer Corona-buizen
Plasma-insluitingsbuizen
Een plasmabuissealmachine is een apparaat dat wordt gebruikt om elektronische componenten te encapsuleren. Het principe is dat de hoge temperatuur en hoge druk van plasma worden gebruikt om het verpakkingsmateriaal te smelten en het op het onderdeel te encapsuleren. De belangrijkste componenten van een plasmabuissealmachine zijn onder andere de plasmagenerator, de buissealkamer, het vacuümsysteem en het besturingssysteem.
Thermokoppel beschermmantel (Thermowell): Thermokoppel is een veelgebruikt temperatuurmeetelement in temperatuurmeetinstrumenten. Het meet direct de temperatuur en zet het temperatuursignaal om in een thermo-elektrisch elektromotorisch krachtsignaal, via het elektrische instrument (secundair instrument) in de temperatuur van het te meten medium.
Waterbehandeling/reiniging
Eigenschappen van saffierbuizen (theoretisch)
| Samengestelde formule | Al2O3 |
| Moleculair gewicht | 101,96 |
| Verschijning | Doorschijnende buizen |
| Smeltpunt | 2050 °C (3720 °F) |
| Kookpunt | 2.977° C (5.391° F) |
| Dikte | 4,0 g/cm3 |
| Morfologie | Trigonaal (hex), R3c |
| Oplosbaarheid in H2O | 98 x 10-6 g/100 g |
| Brekingsindex | 1.8 |
| Elektrische weerstand | 17 10x Ω-m |
| Poisson's verhouding | 0,28 |
| Soortelijke warmte | 760 J Kg-1 K-1 (293K) |
| Treksterkte | 1390 MPa (Ultiem) |
| Thermische geleidbaarheid | 30 W/mK |
| Thermische uitzetting | 5,3 µm/mK |
| Young's modulus | 450 GPa |
| Exacte massa | 101,948 g/mol |
| Mono-isotopische massa | 101.94782 Da |
Gedetailleerd diagram
