Saffieren buis, saffieren staven, speciale vorm, hogedruk KY en EFG
Beschrijving
Saffieren staven worden in een breed scala aan toepassingen gebruikt. Een saffieren staaf kan worden vervaardigd met alle oppervlakken gepolijst voor optische en slijtagebestendige toepassingen, of met alle oppervlakken fijn geslepen (ongepolijst) om als isolator te dienen.
Technologie
Tijdens het proces van het trekken van saffierbuizen uit een smelt met behulp van een kiemkristal, wordt de longitudinale temperatuurgradiënt in het gebied tussen het gestolde front en het trekgebied, waar de temperatuur tussen 1850 en 1900 °C ligt, niet meer dan 30 °C/cm gehouden. De aldus gevormde buis wordt gegloeid bij een temperatuur tussen 1950 en 2000 °C door de temperatuur te verhogen met een snelheid van 30 tot 40 °C/min en de buis gedurende 3 tot 4 uur op deze temperatuur te houden. Daarna wordt de buis afgekoeld tot kamertemperatuur met een snelheid van 30-40 °C/min.
Toepassingen in de halfgeleiderverwerking:
(HPD CVD, PECVD, droog etsen, nat etsen)
Plasma-applicatorbuis
Procesgasinjectiemondstukken
Eindpuntdetector
Excimer-coronabuizen
Plasma-insluitingsbuizen
Een plasmabuissealmachine is een apparaat dat wordt gebruikt om elektronische componenten te omhullen. Het principe is gebaseerd op het gebruik van de hoge temperatuur en hoge druk van plasma om het verpakkingsmateriaal te smelten en het component ermee te omhullen. De belangrijkste onderdelen van een plasmabuissealmachine zijn onder andere de plasmagenerator, de buissealkamer, het vacuümsysteem en het besturingssysteem.
Thermokoppel beschermhuls (Thermowell): Een thermokoppel is een veelgebruikt temperatuurmeetelement in temperatuurmeetinstrumenten. Het meet direct de temperatuur en zet het temperatuursignaal om in een thermo-elektrisch elektromotorisch krachtsignaal. Dit signaal wordt via een elektrisch instrument (secundair instrument) omgezet in de temperatuur van het te meten medium.
Waterbehandeling/reiniging
Eigenschappen van saffierbuizen (theoretisch)
| Samengestelde formule | Al2O3 |
| Moleculair gewicht | 101,96 |
| Verschijning | Doorzichtige buizen |
| Smeltpunt | 2050 °C (3720 °F) |
| Kookpunt | 2977 °C (5391 °F) |
| Dikte | 4,0 g/cm3 |
| Morfologie | Trigonaal (hexagonaal), R3c |
| Oplosbaarheid in H2O | 98 x 10⁻⁶ g/100g |
| brekingsindex | 1.8 |
| Elektrische weerstand | 17 10x Ω-m |
| Poisson-verhouding | 0,28 |
| Soortelijke warmte | 760 J Kg-1 K-1 (293K) |
| Treksterkte | 1390 MPa (Ultiem) |
| Thermische geleidbaarheid | 30 W/mK |
| Thermische uitzetting | 5,3 µm/mK |
| Youngs modulus | 450 GPa |
| Exacte massa | 101,948 g/mol |
| Monoisotopische massa | 101.94782 Da |
Gedetailleerd diagram
