Premium saffier liftpennen Enkel kristal Al₂O₃ wafer liftpen
Technische parameters
| Chemische samenstelling | Al2O3 |
| Hardheid | 9Mohs |
| Optische aard | Uniaxiaal |
| Brekingsindex | 1.762-1.770 |
| Dubbelbreking | 0,008-0,010 |
| Dispersie | Laag, 0,018 |
| Glans | Glasachtig lichaam |
| Pleochroïsme | Matig tot sterk |
| Diameter | 0,4 mm-30 mm |
| Diametertolerantie | 0,004 mm-0,05 mm |
| lengte | 2 mm-150 mm |
| lengtetolerantie | 0,03 mm-0,25 mm |
| Oppervlaktekwaliteit | 40/20 |
| Oppervlakterondheid | RZ0.05 |
| Aangepaste vorm | beide uiteinden plat, één uiteinde redius, beide uiteinden redius, zadelpennen en speciale vormen |
Belangrijkste kenmerken
1. Uitzonderlijke hardheid en slijtvastheid: Met een Mohs-hardheid van 9, alleen overtroffen door diamant, vertonen saffierliftpennen slijtage-eigenschappen die traditionele alternatieven van siliciumcarbide, aluminiumoxidekeramiek of metaallegeringen aanzienlijk overtreffen. Deze extreme hardheid vertaalt zich in aanzienlijk minder deeltjesproductie en onderhoudsvereisten, met een levensduur die doorgaans 3 tot 5 keer langer is dan die van conventionele materialen in vergelijkbare toepassingen.
2. Superieure hogetemperatuurbestendigheid: Saffierliftpennen zijn ontworpen om langdurig gebruik bij temperaturen boven de 1000 °C te weerstaan zonder degradatie. Ze behouden hun maatvastheid en mechanische sterkte in de meest veeleisende thermische processen. Dit maakt ze bijzonder waardevol voor kritische toepassingen zoals chemische dampdepositie (CVD), metaal-organische chemische dampdepositie (MOCVD) en hoogtemperatuurgloeisystemen, waar een verkeerde thermische uitzetting de procesopbrengsten kan beïnvloeden.
3. Chemische inertie: De monokristallijne saffierstructuur vertoont een opmerkelijke weerstand tegen aantasting door HF-zuur, chloorhoudende chemicaliën en andere agressieve procesgassen die vaak voorkomen bij de productie van halfgeleiders. Deze chemische stabiliteit garandeert consistente prestaties in plasma-omgevingen en voorkomt de vorming van oppervlaktedefecten die tot waferverontreiniging kunnen leiden.
4. Lage deeltjesverontreiniging: Deze liftpennen zijn vervaardigd uit defectvrije, hoogzuivere saffierkristallen (meestal > 99,99%) en vertonen minimale deeltjesafgifte, zelfs na langdurig gebruik. Hun niet-poreuze oppervlaktestructuur en gepolijste afwerking voldoen aan de strengste cleanroomvereisten en dragen direct bij aan verbeterde procesopbrengsten bij de productie van geavanceerde knooppunthalfgeleiders.
Hoognauwkeurige bewerking: Met behulp van geavanceerde diamantslijp- en laserbewerkingstechnieken kunnen saffierliftpennen worden geproduceerd met submicrontoleranties en oppervlakteafwerkingen onder 0,05 μm Ra. Aangepaste geometrieën, waaronder taps toelopende profielen, speciale puntconfiguraties en geïntegreerde uitlijningsfuncties, kunnen worden ontworpen om specifieke uitdagingen bij het hanteren van wafers in de volgende generatie fabricageapparatuur aan te pakken.
Primaire toepassingen
1. Halfgeleiderproductie: Saffierliftpennen spelen een cruciale rol in geavanceerde waferverwerkingssystemen en bieden betrouwbare ondersteuning en nauwkeurige positionering tijdens fotolithografie, etsen, depositie en inspectieprocessen. Hun thermische en chemische stabiliteit maakt ze bijzonder waardevol in EUV-lithografietools en geavanceerde verpakkingstoepassingen, waar dimensionale stabiliteit op nanometerschaal essentieel is.
2. LED-epitaxie (MOCVD): In epitaxiale groeisystemen voor galliumnitride (GaN) en verwante samengestelde halfgeleiders bieden saffierliftpennen stabiele waferondersteuning bij temperaturen die vaak boven de 1000 °C uitkomen. Hun thermische uitzettingseigenschappen, afgestemd op die van saffiersubstraten, minimaliseren kromtrekken en slippen van de wafer tijdens het epitaxiale groeiproces.
3. Fotovoltaïsche industrie: De productie van hoogrenderende zonnecellen profiteert van de unieke eigenschappen van saffier in hogetemperatuurdiffusie-, sintering- en dunnefilmdepositieprocessen. De slijtvastheid van de pinnen is met name waardevol in massaproductieomgevingen waar de levensduur van componenten direct van invloed is op de productiekosten.
4. Precisie-optica en elektronicaverwerking: Naast halfgeleidertoepassingen worden saffierliftpennen ook gebruikt bij de verwerking van delicate optische componenten, MEMS-apparaten en speciale substraten, waar contaminatievrije verwerking en kraspreventie essentieel zijn. Hun elektrische isolatie-eigenschappen maken ze ideaal voor toepassingen met elektrostatisch gevoelige apparaten.
XKH's diensten voor saffierliftpennen
XKH biedt uitgebreide technische ondersteuning en op maat gemaakte oplossingen voor saffierliftpennen:
1. Maatwerk ontwikkelingsdiensten
· Ondersteuning voor maatwerk in afmetingen, geometrie en oppervlaktebehandeling
· Aanbevelingen voor materiaalselectie en optimalisatie van technische parameters
· Samenwerkend productontwerp en simulatieverificatie
2. Precisieproductiemogelijkheden
· Hoognauwkeurige bewerking met toleranties binnen ±1μm
· Speciale behandelingen, waaronder spiegelpolijsten en afschuinen van de randen
· Optionele oppervlaktemodificatieoplossingen zoals antiaanbaklagen
3. Kwaliteitsborgingssysteem
· Strikte implementatie van de inspectie en procescontrole van binnenkomend materiaal
· Volledige optische inspectie en oppervlaktemorfologieanalyse
· Het verstrekken van testrapporten over productprestaties
4. Supply Chain-diensten
· Snelle levering van standaardproducten
· Toegewijd voorraadbeheer voor belangrijke accounts
5. Technische ondersteuning
· Advies over applicatieoplossingen
· Snelle reactie na verkoop
Wij streven ernaar hoogwaardige Sapphire Lift Pins-producten en professionele technische diensten te leveren die voldoen aan de strenge eisen van de halfgeleider-, LED- en andere geavanceerde industrieën.
