Gepatroneerd saffiersubstraat PSS 2 inch 4 inch 6 inch ICP droog etsen kan worden gebruikt voor LED-chips
Kernkenmerk
1. Materiaaleigenschappen: Het substraatmateriaal is een monokristallijn saffier (Al₂O₃), met een hoge hardheid, hoge hittebestendigheid en chemische stabiliteit.
2. Oppervlaktestructuur: Het oppervlak wordt gevormd door fotolithografie en etsen in periodieke micro-nanostructuren, zoals kegels, piramides of hexagonale arrays.
3. Optische prestaties: Door het oppervlaktepatroonontwerp wordt de totale reflectie van licht op de interface verminderd en wordt de lichtextractie-efficiëntie verbeterd.
4. Thermische prestaties: Saffiersubstraat heeft een uitstekende thermische geleidbaarheid en is geschikt voor LED-toepassingen met een hoog vermogen.
5. Maatspecificaties: Veel voorkomende maten zijn 2 inch (50,8 mm), 4 inch (100 mm) en 6 inch (150 mm).
Belangrijkste toepassingsgebieden
1. LED-productie:
Verbeterde lichtopbrengst: PSS vermindert het lichtverlies door een patroonontwerp, waardoor de helderheid en lichtopbrengst van de LED aanzienlijk worden verbeterd.
Verbeterde epitaxiale groeikwaliteit: de gepatroneerde structuur biedt een betere groeibasis voor GaN-epitaxiale lagen en verbetert de LED-prestaties.
2. Laserdiode (LD):
Lasers met hoog vermogen: De hoge thermische geleidbaarheid en stabiliteit van PSS zijn geschikt voor laserdiodes met hoog vermogen, waardoor de warmteafvoer en betrouwbaarheid worden verbeterd.
Lage drempelstroom: optimaliseer de epitaxiale groei, verlaag de drempelstroom van de laserdiode en verbeter de efficiëntie.
3. Fotodetector:
Hoge gevoeligheid: De hoge lichttransmissie en lage defectdichtheid van de PSS verbeteren de gevoeligheid en reactiesnelheid van de fotodetector.
Brede spectrale respons: geschikt voor foto-elektrische detectie in het ultraviolette tot zichtbare bereik.
4. Vermogenselektronica:
Hoge spanningsbestendigheid: Dankzij de hoge isolatiewaarde en thermische stabiliteit van saffier zijn deze materialen geschikt voor hoogspanningsapparatuur.
Efficiënte warmteafvoer: een hoge thermische geleidbaarheid verbetert de warmteafvoerprestaties van elektrische apparaten en verlengt de levensduur.
5. RF-apparaten:
Hoogfrequente prestaties: Het lage diëlektrische verlies en de hoge thermische stabiliteit van PSS zijn geschikt voor hoogfrequente RF-apparaten.
Lage ruis: Hoge vlakheid en lage defectdichtheid verminderen de apparaatruis en verbeteren de signaalkwaliteit.
6. Biosensoren:
Detectie met hoge gevoeligheid: De hoge lichttransmissie en chemische stabiliteit van PSS zijn geschikt voor biosensoren met een hoge gevoeligheid.
Biocompatibiliteit: Dankzij de biocompatibiliteit van saffier is het geschikt voor medische en biodetectietoepassingen.
Gepatroneerd saffiersubstraat (PSS) met GaN epitaxiaal materiaal:
Gepatroneerd saffiersubstraat (PSS) is een ideaal substraat voor epitaxiale groei met GaN (galliumnitride). De roosterconstante van saffier ligt dicht bij die van GaN, wat roostermismatches en defecten bij epitaxiale groei kan verminderen. De micro-nanostructuur van het PSS-oppervlak verbetert niet alleen de lichtextractie-efficiëntie, maar ook de kristalkwaliteit van de epitaxiale GaN-laag, wat de prestaties en betrouwbaarheid van de led verbetert.
Technische parameters
| Item | Gepatroneerd saffiersubstraat (2~6 inch) | ||
| Diameter | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Dikte | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Oppervlakteoriëntatie | C-vlak (0001) onder een hoek ten opzichte van de M-as (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C-vlak (0001) onder een hoek ten opzichte van de A-as (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Primaire vlakke oriëntatie | A-vlak (11-20) ± 1,0° | ||
| Primaire vlakke lengte | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-vlak | 9 uur | ||
| Voorzijde oppervlakteafwerking | Gepatroneerd | ||
| Achterkant oppervlakte afwerking | SSP: fijngemalen, Ra=0,8-1,2 µm; DSP: epigepolijst, Ra<0,3 nm | ||
| Lasermarkering | Achterkant | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| BOOG | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Randuitsluiting | ≤2 mm | ||
| Patroonspecificatie | Vormstructuur | Koepel, kegel, piramide | |
| Patroonhoogte | 1,6~1,8 μm | ||
| Patroondiameter | 2,75~2,85 μm | ||
| Patroonruimte | 0,1~0,3 μm | ||
XKH is gespecialiseerd in het leveren van hoogwaardige, op maat gemaakte gepatroneerde saffiersubstraten (PSS) met technische ondersteuning en aftersales-service om klanten te helpen efficiënte innovaties te realiseren op het gebied van LED, displays en opto-elektronica.
1. Hoogwaardige PSS-levering: gepatroneerde saffiersubstraten in verschillende formaten (2", 4", 6") om te voldoen aan de behoeften van LED-, display- en opto-elektronische apparaten.
2. Aangepast ontwerp: Pas de micro-nanostructuur van het oppervlak (zoals kegel, piramide of hexagonale matrix) aan volgens de behoeften van de klant om de lichtextractie-efficiëntie te optimaliseren.
3. Technische ondersteuning: Bied PSS-toepassingsontwerp, procesoptimalisatie en technisch advies om klanten te helpen de productprestaties te verbeteren.
4. Ondersteuning van epitaxiale groei: PSS gecombineerd met GaN epitaxiaal materiaal zorgt voor een hoogwaardige epitaxiale laaggroei.
5. Testen en certificeren: Zorg voor een PSS-kwaliteitscontrolerapport om te garanderen dat de producten voldoen aan de industrienormen.
Gedetailleerd diagram
