HPSI SiC-wafer met een transmissie van ≥90%, optische kwaliteit voor AI/AR-brillen.
Kerninleiding: De rol van HPSI SiC-wafers in AI/AR-brillen
HPSI (High-Purity Semi-Insulating) siliciumcarbide wafers zijn gespecialiseerde wafers die gekenmerkt worden door een hoge soortelijke weerstand (>10⁹ Ω·cm) en een extreem lage defectdichtheid. In AI/AR-brillen dienen ze voornamelijk als het kernsubstraatmateriaal voor diffractieve optische golfgeleiderlenzen, waarmee knelpunten van traditionele optische materialen op het gebied van dunne en lichte vormen, warmteafvoer en optische prestaties worden aangepakt. Zo kunnen AR-brillen met SiC-golfgeleiderlenzen een ultrabreed gezichtsveld (FOV) van 70°–80° bereiken, terwijl de dikte van een enkele lenslaag wordt teruggebracht tot slechts 0,55 mm en het gewicht tot slechts 2,7 g, wat het draagcomfort en de visuele immersie aanzienlijk verbetert.
Belangrijkste kenmerken: Hoe SiC-materiaal het ontwerp van AI/AR-brillen verbetert
Optimalisatie van hoge brekingsindex en optische prestaties
- De brekingsindex van SiC (2,6–2,7) is bijna 50% hoger dan die van traditioneel glas (1,8–2,0). Dit maakt dunnere en efficiëntere golfgeleiderstructuren mogelijk, waardoor het gezichtsveld aanzienlijk wordt vergroot. De hoge brekingsindex helpt ook het "regenboogeffect" te onderdrukken dat vaak voorkomt in diffractieve golfgeleiders, waardoor de beeldkwaliteit verbetert.
Uitzonderlijke thermische beheermogelijkheden
- Met een thermische geleidbaarheid van maar liefst 490 W/m·K (bijna gelijk aan die van koper) kan SiC de warmte die door Micro-LED-displaymodules wordt gegenereerd, snel afvoeren. Dit voorkomt prestatievermindering of veroudering van het apparaat door hoge temperaturen, wat zorgt voor een lange batterijduur en hoge stabiliteit.
Mechanische sterkte en duurzaamheid
- SiC heeft een Mohs-hardheid van 9,5 (op de tweede plaats na diamant), wat zorgt voor een uitzonderlijke krasbestendigheid en het ideaal maakt voor veelgebruikte consumentenbrillen. De oppervlakteruwheid kan worden geregeld tot Ra < 0,5 nm, wat een laag verlies en een zeer uniforme lichttransmissie in golfgeleiders garandeert.
Compatibiliteit van elektrische eigenschappen
- De hoge soortelijke weerstand van HPSI SiC (>10⁹ Ω·cm) helpt signaalinterferentie te voorkomen. Het kan ook dienen als een efficiënt materiaal voor stroomvoorzieningscomponenten, waardoor de energiebeheermodules in AR-brillen worden geoptimaliseerd.
Primaire toepassingsinstructies
Essentiële optische componenten voor AI/AR-brillens
- Diffractieve golfgeleiderlenzen: SiC-substraten worden gebruikt om ultradunne optische golfgeleiders te creëren die een groot gezichtsveld ondersteunen en het regenboogeffect elimineren.
- Vensterplaten en prisma's: Door middel van op maat gesneden en gepolijste SiC kan worden verwerkt tot beschermende vensters of optische prisma's voor AR-brillen, waardoor de lichtdoorlatendheid en slijtvastheid worden verbeterd.
Uitgebreide toepassingen op andere gebieden
- Vermogenselektronica: Gebruikt in hoogfrequente, hoogvermogenssituaties zoals omvormers voor elektrische voertuigen en industriële motorbesturingen.
- Kwantumoptica: Fungeert als gastheer voor kleurencenrums, gebruikt in substraten voor kwantumcommunicatie en -sensoren.
Vergelijking van de specificaties van 4-inch en 6-inch HPSI SiC-substraten
| Parameter | Cijfer | 4-inch substraat | 6-inch substraat |
| Diameter | Z-klasse / D-klasse | 99,5 mm - 100,0 mm | 149,5 mm - 150,0 mm |
| Polytype | Z-klasse / D-klasse | 4H | 4H |
| Dikte | Z-klasse | 500 μm ± 15 μm | 500 μm ± 15 μm |
| D-cijfer | 500 μm ± 25 μm | 500 μm ± 25 μm | |
| Waferoriëntatie | Z-klasse / D-klasse | Op de as: <0001> ± 0,5° | Op de as: <0001> ± 0,5° |
| Micropipe-dichtheid | Z-klasse | ≤ 1 cm² | ≤ 1 cm² |
| D-cijfer | ≤ 15 cm² | ≤ 15 cm² | |
| Soortelijke weerstand | Z-klasse | ≥ 1E10 Ω·cm | ≥ 1E10 Ω·cm |
| D-cijfer | ≥ 1E5 Ω·cm | ≥ 1E5 Ω·cm | |
| Primaire vlakke oriëntatie | Z-klasse / D-klasse | (10-10) ± 5,0° | (10-10) ± 5,0° |
| Primaire vlakke lengte | Z-klasse / D-klasse | 32,5 mm ± 2,0 mm | Inkeping |
| Secundaire vlakke lengte | Z-klasse / D-klasse | 18,0 mm ± 2,0 mm | - |
| Randuitsluiting | Z-klasse / D-klasse | 3 mm | 3 mm |
| LTV / TTV / Bow / Warp | Z-klasse | ≤ 2,5 μm / ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 30 μm | ≤ 2,5 μm / ≤ 6 μm / ≤ 25 μm / ≤ 35 μm |
| D-cijfer | ≤ 10 μm / ≤ 15 μm / ≤ 25 μm / ≤ 40 μm | ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 40 μm / ≤ 80 μm | |
| Ruwheid | Z-klasse | Poolse Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Poolse Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm |
| D-cijfer | Poolse Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Poolse Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,5 nm | |
| Randscheuren | D-cijfer | Cumulatief oppervlak ≤ 0,1% | Cumulatieve lengte ≤ 20 mm, enkelvoudig ≤ 2 mm |
| Polytypegebieden | D-cijfer | Cumulatief oppervlak ≤ 0,3% | Cumulatief oppervlak ≤ 3% |
| Zichtbare koolstofinsluitingen | Z-klasse | Cumulatief oppervlak ≤ 0,05% | Cumulatief oppervlak ≤ 0,05% |
| D-cijfer | Cumulatief oppervlak ≤ 0,3% | Cumulatief oppervlak ≤ 3% | |
| Krassen op het siliconenoppervlak | D-cijfer | 5 toegestaan, elk ≤1 mm | Cumulatieve lengte ≤ 1 x diameter |
| Randchips | Z-klasse | Niet toegestaan (breedte en diepte ≥0,2 mm) | Niet toegestaan (breedte en diepte ≥0,2 mm) |
| D-cijfer | 7 toegestaan, elk ≤1 mm | 7 toegestaan, elk ≤1 mm | |
| Schroefdraaddislocatie | Z-klasse | - | ≤ 500 cm² |
| Verpakking | Z-klasse / D-klasse | Cassette met meerdere wafers of container voor één wafer | Cassette met meerdere wafers of container voor één wafer |
XKH Services: Geïntegreerde productie- en maatwerkmogelijkheden
XKH beschikt over verticale integratiemogelijkheden, van grondstoffen tot afgewerkte wafers, en bestrijkt de gehele keten van SiC-substraatgroei, -snijden, -polijsten en -bewerking op maat. Belangrijke voordelen van onze dienstverlening zijn onder meer:
- Materiële diversiteit:We kunnen verschillende soorten wafers leveren, zoals 4H-N, 4H-HPSI, 4H/6H-P en 3C-N. De soortelijke weerstand, dikte en oriëntatie kunnen naar wens worden aangepast.
- Flexibele maataanpassing:Wij ondersteunen de verwerking van wafers met een diameter van 2 tot 12 inch en kunnen ook speciale structuren verwerken, zoals vierkante stukken (bijv. 5x5 mm, 10x10 mm) en onregelmatige prisma's.
- Precisiecontrole van optische kwaliteit:De totale diktevariatie (TTV) van de wafer kan onder de 1 μm worden gehouden en de oppervlakteruwheid onder Ra < 0,3 nm, waarmee wordt voldaan aan de vlakheidseisen op nanoniveau voor golfgeleiderapparaten.
- Snelle marktreactie:Het geïntegreerde bedrijfsmodel zorgt voor een efficiënte overgang van onderzoek en ontwikkeling naar massaproductie en ondersteunt alles van verificatie in kleine batches tot verzendingen in grote volumes (doorlooptijd doorgaans 15-40 dagen).

Veelgestelde vragen over HPSI SiC-wafers
Vraag 1: Waarom wordt HPSI SiC beschouwd als een ideaal materiaal voor AR-golfgeleiderlenzen?
A1: De hoge brekingsindex (2,6–2,7) maakt dunnere, efficiëntere golfgeleiderstructuren mogelijk die een groter gezichtsveld ondersteunen (bijv. 70°–80°) en tegelijkertijd het "regenboogeffect" elimineren.
Vraag 2: Hoe verbetert HPSI SiC het thermisch beheer in AI/AR-brillen?
A2: Met een thermische geleidbaarheid tot 490 W/m·K (vergelijkbaar met koper) voert het efficiënt warmte af van componenten zoals micro-LED's, wat zorgt voor stabiele prestaties en een langere levensduur van het apparaat.
Vraag 3: Welke duurzaamheidsvoordelen biedt HPSI SiC voor brillen?
A3: De uitzonderlijke hardheid (Mohs 9,5) zorgt voor een superieure krasbestendigheid, waardoor het zeer duurzaam is voor dagelijks gebruik in AR-brillen voor consumenten.













