Dia300x1.0mmt Dikte Saffier Wafer C-Plane SSP/DSP
Introductie van waferbox
Kristalmaterialen | 99,999% Al2O3, hoge zuiverheid, monokristallijn, Al2O3 | |||
Kristalkwaliteit | Insluitsels, blokmarkeringen, tweelingen, kleur, microbellen en verspreidingscentra zijn niet aanwezig | |||
Diameter | 2 inch | 3 inch | 4 inch | 6 inch ~ 12 inch |
50,8± 0,1 mm | 76,2±0,2 mm | 100±0,3 mm | In overeenstemming met de bepalingen van de standaardproductie | |
Dikte | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Kan door de klant worden aangepast |
Oriëntatie | C-vlak (0001) naar M-vlak (1-100) of A-vlak (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-vlak (1-1 0 2), A-vlak (1 1-2 0 ), M-vlak (1-1 0 0), elke oriëntatie, elke hoek | |||
Primaire vlakke lengte | 16,0±1 mm | 22,0±1,0 mm | 32,5±1,5 mm | In overeenstemming met de bepalingen van de standaardproductie |
Primaire flatoriëntatie | A-vlak (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
BOOG | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Verdraaien | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Voorkant | Epi-gepolijst (Ra < 0,2 nm) |
*Boog: De afwijking van het middelpunt van het middenoppervlak van een vrije, niet-geklemde wafer ten opzichte van het referentievlak, waarbij het referentievlak wordt gedefinieerd door de drie hoeken van een gelijkzijdige driehoek.
*Warp: Het verschil tussen de maximale en minimale afstand van het middenoppervlak van een vrije, niet-geklemde wafer tot het hierboven gedefinieerde referentievlak.
Hoogwaardige producten en diensten voor de volgende generatie halfgeleiderapparaten en epitaxiale groei:
Hoge mate van vlakheid (gecontroleerde TTV, boog, kromming etc.)
Hoogwaardige reiniging (lage deeltjesverontreiniging, lage metaalverontreiniging)
Ondergrond boren, groeven, snijden en achterkant polijsten
Toevoeging van gegevens zoals reinheid en vorm van het substraat (optioneel)
Als u saffiersubstraten nodig heeft, neem dan gerust contact met ons op:
mail:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Wij reageren zo snel mogelijk!
Gedetailleerd diagram

