Dia300x1.0mmt Dikte Saffier Wafer C-Vlak SSP/DSP
Introductie van wafeltjedoos
Kristal materialen | 99,999% van Al2O3, hoge zuiverheid, monokristallijn, Al2O3 | |||
Kristal kwaliteit | Insluitsels, blokmarkeringen, tweelingen, kleur, microbellen en verspreidingscentra bestaan niet | |||
Diameter | 2 inch | 3 inch | 4 inch | 6 inch ~ 12 inch |
50,8 ± 0,1 mm | 76,2 ± 0,2 mm | 100 ± 0,3 mm | In overeenstemming met de bepalingen van standaardproductie | |
Dikte | 430±15 µm | 550±15 µm | 650±20 µm | Kan door de klant worden aangepast |
Oriëntatie | C-vlak (0001) naar M-vlak (1-100) of A-vlak (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-vlak (1-1 0 2), A-vlak (1 1-2 0), M-vlak (1-1 0 0), elke richting, elke hoek | |||
Primaire platte lengte | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5 ± 1,5 mm | In overeenstemming met de bepalingen van standaardproductie |
Primaire vlakke oriëntatie | A-vlak (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
LTV | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
TIR | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
BOOG | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Verdraaien | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Vooroppervlak | Epi-gepolijst (Ra<0,2 nm) |
*Boog: De afwijking van het middelpunt van het middenoppervlak van een vrije, niet-geklemde wafer ten opzichte van het referentievlak, waarbij het referentievlak wordt gedefinieerd door de drie hoeken van een gelijkzijdige driehoek.
*Warp: het verschil tussen de maximale en de minimale afstand van het middenoppervlak van een vrije, niet-geklemde wafer tot het hierboven gedefinieerde referentievlak.
Hoogwaardige producten en diensten voor halfgeleiderapparaten van de volgende generatie en epitaxiale groei:
Hoge mate van vlakheid (gecontroleerde TTV, boeg, schering etc.)
Hoogwaardige reiniging (lage deeltjesvervuiling, lage metaalvervuiling)
Boren, groefsteken, snijden en polijsten van de achterkant van de ondergrond
Bijlage van gegevens zoals reinheid en vorm van het substraat (optioneel)
Als u saffiersubstraten nodig heeft, neem dan gerust contact op:
mail:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
We nemen zo snel mogelijk contact met u op!