8 inch SiC Productiekwaliteit wafer 4H-N SiC-substraat

Korte beschrijving:

8-inch SiC-substraten worden gebruikt in elektronische apparaten met hoog vermogen, zoals vermogens-MOSFET's (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors), Schottky-diodes en andere vermogenshalfgeleiderapparaten.

Stuur een e-mail naar ons

Productdetail

Productlabels

De volgende tabel toont de specificaties van onze 8 inch SiC-wafels:

8 inch N-type SiC DSP-specificaties
Nummer	Item	Eenheid	Productie	Onderzoek	Dummie
1:parameters
1.1	polytype	--	4H	4H	4H
1.2	oppervlakte oriëntatie	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Elektrische parameter
2.1	doteringsmiddel	--	n-type stikstof	n-type stikstof	n-type stikstof
2.2	weerstand	ohm·cm	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: Mechanische parameter
3.1	diameter	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	dikte	urn	500±25	500±25	500±25
3.3	Inkepingsoriëntatie	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Inkepingsdiepte	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	urn	≤5 (10 mm * 10 mm)	≤5 (10 mm * 10 mm)	≤10 (10 mm * 10 mm)
3.6	TTV	urn	≤10	≤10	≤15
3.7	Boog	urn	-25 ~ 25	-45 ~ 45	-65 ~ 65
3.8	Verdraaien	urn	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Structuur
4.1	dichtheid van microbuizen	per stuk/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metalen inhoud	atomen/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	per stuk/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	per stuk/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	per stuk/cm2	≤7000	≤10000	NA
5. Frontkwaliteit
5.1	voorkant	--	Si	Si	Si
5.2	oppervlakteafwerking	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	deeltje	ea/wafel	≤100 (grootte≥0,3 μm)	NA	NA
5.4	kras	ea/wafel	≤5, totale lengte≤200 mm	NA	NA
5.5	Rand chips/deuken/scheuren/vlekken/verontreiniging	--	Geen	Geen	NA
5.6	Polytype-gebieden	--	Geen	Oppervlakte ≤10%	Oppervlakte ≤30%
5.7	markering aan de voorzijde	--	Geen	Geen	Geen
6: Terug kwaliteit
6.1	achterkant afwerking	--	C-gezicht MP	C-gezicht MP	C-gezicht MP
6.2	kras	mm	NA	NA	NA
6.3	Rugdefecten rand chipjes/streepjes	--	Geen	Geen	NA
6.4	Ruwheid van de rug	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Achtermarkering	--	Inkeping	Inkeping	Inkeping
7: rand
7.1	rand	--	Afschuining	Afschuining	Afschuining
8: Pakket
8.1	verpakking	--	Epi-ready met vacuüm verpakking	Epi-ready met vacuüm verpakking	Epi-ready met vacuüm verpakking
8.2	verpakking	--	Multi-wafel cassetteverpakking	Multi-wafel cassetteverpakking	Multi-wafel cassetteverpakking