8 inch 200 mm 4H-N SiC Wafer Geleidende dummy van onderzoekskwaliteit

Korte beschrijving:

Naarmate de transport-, energie- en industriële markten evolueren, blijft de vraag naar betrouwbare, hoogwaardige vermogenselektronica groeien. Om aan de behoefte aan verbeterde halfgeleiderprestaties te voldoen, kijken fabrikanten van apparaten naar halfgeleidermaterialen met een brede bandafstand, zoals ons 4H SiC Prime Grade-portfolio van 4H n-type siliciumcarbide (SiC) wafers.


Productdetail

Productlabels

Vanwege zijn unieke fysieke en elektronische eigenschappen wordt 200 mm SiC-wafer-halfgeleidermateriaal gebruikt om hoogwaardige, hoge temperatuur-, stralingsbestendige en hoogfrequente elektronische apparaten te creëren. De prijs van 8 inch SiC-substraten daalt geleidelijk naarmate de technologie geavanceerder wordt en de vraag groeit. Recente technologische ontwikkelingen hebben geleid tot de productie op productieschaal van 200 mm SiC-wafels. De belangrijkste voordelen van SiC-wafelhalfgeleidermaterialen in vergelijking met Si- en GaAs-wafels: De elektrische veldsterkte van 4H-SiC tijdens lawinedoorslag is ruim een ​​orde van grootte hoger dan de overeenkomstige waarden voor Si en GaAs. Dit leidt tot een significante afname van de weerstand in de toestand Ron. Een lage weerstand in de toestand, gecombineerd met een hoge stroomdichtheid en thermische geleidbaarheid, maakt het gebruik van zeer kleine chipjes voor voedingsapparaten mogelijk. De hoge thermische geleidbaarheid van SiC vermindert de thermische weerstand van de chip. De elektronische eigenschappen van apparaten op basis van SiC-wafels zijn zeer stabiel in de tijd en temperatuurstabiel, wat een hoge betrouwbaarheid van producten garandeert. Siliciumcarbide is extreem goed bestand tegen harde straling, waardoor de elektronische eigenschappen van de chip niet worden aangetast. Dankzij de hoge bedrijfstemperatuur van het kristal (meer dan 600°C) kunt u zeer betrouwbare apparaten maken voor zware bedrijfsomstandigheden en speciale toepassingen. Momenteel kunnen we kleine hoeveelheden 200 mmSiC-wafels gestaag en continu leveren en hebben we enige voorraad in het magazijn.

Specificatie

Nummer Item Eenheid Productie Onderzoek Dummie
1. Parameters
1.1 polytype -- 4H 4H 4H
1.2 oppervlakte oriëntatie ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Elektrische parameter
2.1 doteringsmiddel -- n-type stikstof n-type stikstof n-type stikstof
2.2 weerstand ohm·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Mechanische parameter
3.1 diameter mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 dikte urn 500±25 500±25 500±25
3.3 Inkepingsoriëntatie ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Inkepingsdiepte mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 LTV urn ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤10 (10 mm * 10 mm)
3.6 TTV urn ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Boog urn -25 ~ 25 -45 ~ 45 -65 ~ 65
3.8 Verdraaien urn ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Structuur
4.1 dichtheid van microbuizen per stuk/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 metalen inhoud atomen/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD per stuk/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD per stuk/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED per stuk/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Positieve kwaliteit
5.1 voorkant -- Si Si Si
5.2 oppervlakteafwerking -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 deeltje ea/wafel ≤100 (grootte≥0,3 μm) NA NA
5.4 kras ea/wafel ≤5, totale lengte≤200 mm NA NA
5.5 Rand
chips/deuken/scheuren/vlekken/verontreiniging
-- Geen Geen NA
5.6 Polytype-gebieden -- Geen Oppervlakte ≤10% Oppervlakte ≤30%
5.7 markering aan de voorzijde -- Geen Geen Geen
6. Rugkwaliteit
6.1 achterkant afwerking -- C-gezicht MP C-gezicht MP C-gezicht MP
6.2 kras mm NA NA NA
6.3 Rugdefecten rand
chipjes/streepjes
-- Geen Geen NA
6.4 Ruwheid van de rug nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Achtermarkering -- Inkeping Inkeping Inkeping
7. Rand
7.1 rand -- Afschuining Afschuining Afschuining
8. Pakket
8.1 verpakking -- Epi-ready met vacuüm
verpakking
Epi-ready met vacuüm
verpakking
Epi-ready met vacuüm
verpakking
8.2 verpakking -- Multi-wafel
cassetteverpakking
Multi-wafel
cassetteverpakking
Multi-wafel
cassetteverpakking

Gedetailleerd diagram

8 inch SiC03
8 inch SiC4
8 inch SiC5
8 inch SiC6

  • Vorig:
  • Volgende:

  • Schrijf hier uw bericht en stuur het naar ons