6 inch SiC Epitaxiy wafer N / P-type accepteert aangepast
Het bereidingsproces van epitaxiale siliciumcarbidewafels is een methode die gebruik maakt van Chemical Vapour Deposition (CVD) -technologie.Hieronder volgen de relevante technische principes en voorbereidingsprocesstappen:
Technisch principe:
Chemische dampafzetting: Door gebruik te maken van het grondstofgas in de gasfase, wordt het onder specifieke reactieomstandigheden ontleed en op het substraat afgezet om de gewenste dunne film te vormen.
Gasfasereactie: Door middel van pyrolyse of kraakreactie worden verschillende grondstofgassen in de gasfase chemisch veranderd in de reactiekamer.
Stappen voorbereidingsproces:
Substraatbehandeling: Het substraat wordt onderworpen aan oppervlaktereiniging en voorbehandeling om de kwaliteit en kristalliniteit van de epitaxiale wafer te garanderen.
Foutopsporing in de reactiekamer: pas de temperatuur, druk en stroomsnelheid van de reactiekamer en andere parameters aan om de stabiliteit en controle van de reactieomstandigheden te garanderen.
Aanvoer van grondstoffen: voer de benodigde gasgrondstoffen in de reactiekamer, meng en regel de stroomsnelheid indien nodig.
Reactieproces: Door de reactiekamer te verwarmen ondergaat de gasvormige grondstof een chemische reactie in de kamer om de gewenste afzetting te produceren, namelijk een siliciumcarbidefilm.
Afkoelen en lossen: Aan het einde van de reactie wordt de temperatuur geleidelijk verlaagd om de afzettingen in de reactiekamer af te koelen en te laten stollen.
Epitaxiale wafelgloeien en nabewerking: de afgezette epitaxiale wafel wordt uitgegloeid en nabewerkt om de elektrische en optische eigenschappen ervan te verbeteren.
De specifieke stappen en omstandigheden van het epitaxiale siliciumcarbide-wafelvoorbereidingsproces kunnen variëren afhankelijk van de specifieke apparatuur en vereisten.Het bovenstaande is slechts een algemene processtroom en -principe; de specifieke werking moet worden aangepast en geoptimaliseerd op basis van de feitelijke situatie.
Gedetailleerd diagram
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)