4inch 6inch Lithium niobaat enkelkristalfilm LNOI-wafer
Het voorbereidingsproces van LNOI-materialen is hoofdzakelijk onderverdeeld in de volgende vier stappen
(1) He-ionen werden in het X-cut lithium niobaat materiaal geïnjecteerd met een bepaalde energie, en in de defectlaag geïntroduceerd op een bepaalde diepte onder de oppervlaktelaag van lithium niobaat;
(2) Het met ionen geïmplanteerde lithium niobaatmateriaal wordt met een oxidelaag aan een siliciumsubstraat gebonden om een bindingsstructuur te vormen;
(3) De bindingsstructuur werd gegloeid om de defecten die door de implantatie van He-ionen zijn ontstaan, te laten evolueren en aggregeren tot scheuren. Ten slotte werd het lithiumniobaat langs de defectlaag gescheiden om de resterende lithiumniobaatplakken en LNOI-wafers te vormen.
Toepassingen en voordelen van LNOI-wafers
1--Lithiumniobaat piëzo-elektrische films (LNOI) hebben een hoge piëzo-elektrische coëfficiënt en diëlektrische constante, waardoor mechanische energie in elektrische energie of elektrische energie in mechanische energie kan worden omgezet. Daarom wordt het veel gebruikt in sensoren, zoals druksensoren, versnellingssensoren, temperatuursensoren, enzovoort. Daarnaast kan de lithiumniobaat piëzo-elektrische film ook worden gebruikt in akoestische en vibratie-apparaten, zoals piëzo-elektrische keramische transducers en piëzo-elektrische keramische filters.
2-De stabiliteit van lithiumniobaat piëzo-elektrische folie is ook een voordeel. Dankzij de stabiliteit van de kristalstructuur en chemische inertie kan lithiumniobaat piëzo-elektrische folie werken bij hoge temperaturen, hoge luchtvochtigheid, sterke zuren, sterke basen en andere zware omstandigheden, met een goede corrosiebestendigheid en duurzaamheid.
3-Lithiumniobaat piëzo-elektrische folie is een nieuw piëzo-elektrisch materiaal met uitstekende prestaties en stabiliteit, en heeft een breed toepassingsperspectief. Dankzij de voortdurende ontwikkeling van wetenschap en technologie zal lithiumniobaat piëzo-elektrische folie in steeds meer steden worden toegepast, wat meer gemak en innovatie in het leven van mensen zal brengen.
Gedetailleerd diagram


