4 inch 6 inch Lithiumniobaat monokristallijne film LNOI-wafel
Het bereidingsproces van LNOI-materialen is hoofdzakelijk verdeeld in de volgende vier stappen
(1) He-ionen werden met een bepaalde energie in het X-cut lithiumniobaatmateriaal geïnjecteerd en op een bepaalde diepte onder de oppervlaktelaag van lithiumniobaat in de defectlaag geïntroduceerd;
(2) Het ionengeïmplanteerde lithiumniobaatmateriaal wordt met een oxidelaag aan een siliciumsubstraat gebonden om een bindingsstructuur te vormen;
(3) De bindingsstructuur werd uitgegloeid om de defecten geïntroduceerd door de implantatie van He-ionen te laten evolueren en aggregeren om scheuren te vormen. Tenslotte werd het lithiumniobaat langs de defectlaag gescheiden om de resterende lithiumniobaatplakken en LNOI-wafels te vormen.
Toepassingen en voordelen van LNOI-wafel
1--Lithiumniobaat piëzo-elektrische films (LNOI) hebben een hoge piëzo-elektrische coëfficiënt en diëlektrische constante, die mechanische energie in elektrische energie of elektrische energie in mechanische energie kunnen omzetten. Daarom wordt het veel gebruikt op het gebied van sensoren, zoals druksensoren, versnellingssensoren, temperatuursensoren enzovoort. Bovendien kan de lithiumniobaat-piëzo-elektrische film ook worden gebruikt in akoestische apparaten en trillingsapparaten, zoals een piëzo-elektrisch keramisch transducercomplex piëzo-elektrisch keramisch filter.
2-De stabiliteit van lithiumniobaat-piëzo-elektrische film is ook een van de voordelen ervan. Vanwege de stabiliteit van de kristalstructuur en chemische inertie kan lithiumniobaat-piëzo-elektrische film werken bij hoge temperaturen, hoge luchtvochtigheid, sterk zuur, sterke alkali en andere ruwe omgevingen, met goede corrosieweerstand en duurzaamheid.
3-Lithiumniobaat piëzo-elektrische film is een nieuw piëzo-elektrisch materiaal met uitstekende prestaties en stabiliteit, en heeft een breed toepassingsperspectief. Met de voortdurende ontwikkeling van wetenschap en technologie zal lithiumniobaat piëzo-elektrische film in meer steden worden toegepast, waardoor meer gemak en innovatie in het leven van mensen wordt gebracht