4 inch hoge zuiverheid Al2O3 99,999% saffier substraat wafer Dia101,6×0,65mmt met primaire vlakke lengte
Beschrijving
De algemene specificaties voor 4-inch saffierwafers zijn als volgt:
Dikte: De dikte van gangbare saffierwafers ligt tussen 0,2 mm en 2 mm. De specifieke dikte kan worden aangepast aan de wensen van de klant.
Plaatsingsrand: Meestal bevindt zich aan de rand van de wafer een klein gedeelte, de zogenaamde "plaatsingsrand". Deze beschermt het waferoppervlak en de rand en is meestal amorf.
Oppervlaktevoorbereiding: Veelvoorkomende saffierwafers worden mechanisch geslepen en chemisch-mechanisch gepolijst om het oppervlak glad te maken.
Oppervlakte-eigenschappen: Het oppervlak van saffierwafers heeft doorgaans goede optische eigenschappen, zoals een lage reflectie en een lage brekingsindex, waardoor de prestaties van het apparaat worden verbeterd.
Toepassingen
● Groeisubstraat voor III-V en II-VI verbindingen
● Elektronica en opto-elektronica
● IR-toepassingen
● Silicium op saffier geïntegreerd circuit (SOS)
● Radiofrequentie-geïntegreerd circuit (RFIC)
Specificatie
| Item | 4-inch C-vlak (0001) 650 μm saffierwafers | |
| Kristalmaterialen | 99,999%, hoge zuiverheid, monokristallijn Al2O3 | |
| Cijfer | Prime, Epi-Ready | |
| Oppervlakteoriëntatie | C-vlak (0001) | |
| C-vlak afwijking ten opzichte van M-as 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diameter | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Dikte | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primaire vlakke oriëntatie | A-vlak (11-20) +/- 0,2° | |
| Primaire vlakke lengte | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Enkelzijdig gepolijst | Voorkant | Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (volgens AFM) |
| (SSP) | Achterkant | Fijn gemalen, Ra = 0,8 μm tot 1,2 μm |
| Dubbelzijdig gepolijst | Voorkant | Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (volgens AFM) |
| (DSP) | Achterkant | Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (volgens AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| BOOG | < 20 μm | |
| WARP | < 20 μm | |
| Reiniging / Verpakking | Reiniging en vacuümverpakking van cleanrooms klasse 100, | |
| 25 stuks in één cassetteverpakking of enkelstuksverpakking. | ||
Wij hebben jarenlange ervaring in de saffierverwerkingsindustrie, zowel op de Chinese leveranciersmarkt als op de internationale vraagmarkt. Neem gerust contact met ons op als u vragen heeft.
Gedetailleerd diagram
