4 inch hoogzuivere Al2O3 99,999% saffier substraat wafer Dia101,6×0,65mmt met primaire vlakke lengte

4 inch wafer van zeer zuiver Al2O3 99,999% saffiersubstraat, diameter 101,6 × 0,65 mm, met primaire vlakke lengte (zie afbeelding).

Korte beschrijving:

Een 4-inch (ongeveer 101,6 mm) saffierschijf is een schijf gemaakt van saffiermateriaal met een diameter van 4 inch.

Functies

Beschrijving

De gangbare specificaties van 4-inch saffierwafers worden hieronder beschreven:

Dikte: De dikte van gangbare saffierwafers ligt tussen 0,2 mm en 2 mm, maar de specifieke dikte kan worden aangepast aan de wensen van de klant.

Plaatsingsrand: Aan de rand van de wafer bevindt zich meestal een klein gedeelte, de zogenaamde "plaatsingsrand", dat het oppervlak en de rand van de wafer beschermt en doorgaans amorf is.

Oppervlaktevoorbereiding: Gewone saffierwafers worden mechanisch geslepen en chemisch-mechanisch gepolijst om het oppervlak glad te maken.

Oppervlakte-eigenschappen: Het oppervlak van saffierwafers heeft doorgaans goede optische eigenschappen, zoals een lage reflectiviteit en een lage brekingsindex, om de prestaties van het apparaat te verbeteren.

Toepassingen

● Groeisubstraat voor III-V- en II-VI-verbindingen

● Elektronica en opto-elektronica

● IR-toepassingen

● Silicon On Sapphire Integrated Circuit (SOS)

● Radiofrequentie-geïntegreerde schakeling (RFIC)

Specificatie

Item	4-inch C-vlak (0001) 650 μm saffierwafers
Kristalmaterialen	99,999%, zeer zuiver, monokristallijn Al2O3
Cijfer	Prime, Epi-Ready
Oppervlakteoriëntatie	C-vlak(0001)
	C-vlak afwijkt onder een hoek ten opzichte van de M-as van 0,2 +/- 0,1°
Diameter	100,0 mm +/- 0,1 mm
Dikte	650 μm +/- 25 μm
Primaire vlakke oriëntatie	A-vlak (11-20) +/- 0,2°
Primaire vlakke lengte	30,0 mm +/- 1,0 mm
Enkelzijdig gepolijst	Voorkant	Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (gemeten met AFM)
(SSP)	Achterzijde	Fijn gemalen, Ra = 0,8 μm tot 1,2 μm
Dubbelzijdig gepolijst	Voorkant	Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (gemeten met AFM)
(DSP)	Achterzijde	Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (gemeten met AFM)
TTV	< 20 μm
BOOG	< 20 μm
WARP	< 20 μm
Reiniging / Verpakking	Reiniging en vacuümverpakking in cleanrooms van klasse 100.
	25 stuks in één cassetteverpakking of per stuk verpakt.

Wij hebben jarenlange ervaring in de saffierverwerkingsindustrie, zowel op de Chinese toeleveringsmarkt als op de internationale afzetmarkt. Neem gerust contact met ons op als u vragen of wensen heeft.