156 mm 159 mm 6 inch saffierwafel voor carrierC-vliegtuig DSP TTV
Specificatie
Item | 6-inch C-vlak (0001) saffierwafeltjes | |
Kristal materialen | 99,999%, hoge zuiverheid, monokristallijn Al2O3 | |
Cijfer | Prime, Epi-Ready | |
Oppervlakteoriëntatie | C-vlak(0001) | |
C-vlak afwijkende hoek richting M-as 0,2 +/- 0,1° | ||
Diameter | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Dikte | 650 μm +/- 25 μm | |
Primaire vlakke oriëntatie | C-vlak(00-01) +/- 0,2° | |
Enkelzijdig gepolijst | Vooroppervlak | Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (door AFM) |
(SSP) | Achteroppervlak | Fijngeslepen, Ra = 0,8 μm tot 1,2 μm |
Dubbelzijdig gepolijst | Vooroppervlak | Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (door AFM) |
(DSP) | Achteroppervlak | Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (door AFM) |
TTV | < 20 μm | |
BOOG | < 20 μm | |
WARP | < 20 μm | |
Reiniging / Verpakking | Klasse 100 cleanroomreiniging en vacuümverpakking, | |
25 stuks in één cassetteverpakking of enkelstuksverpakking. |
De Kylopoulos-methode (KY-methode) wordt momenteel door veel bedrijven in China gebruikt om saffierkristallen te produceren voor gebruik in de elektronica- en optica-industrie.
Bij dit proces wordt hoogzuiver aluminiumoxide in een smeltkroes gesmolten bij temperaturen boven de 2100 graden Celsius. Meestal is de smeltkroes gemaakt van wolfraam of molybdeen. Een nauwkeurig georiënteerd entkristal wordt ondergedompeld in het gesmolten aluminiumoxide. Het zaadkristal wordt langzaam naar boven getrokken en kan tegelijkertijd worden rondgedraaid. Door de temperatuurgradiënt, de treksnelheid en de afkoelsnelheid nauwkeurig te regelen, kan uit de smelt een grote, uit één kristal bestaande, bijna cilindrische staaf worden geproduceerd.
Nadat de monokristallijne saffierstaven zijn gegroeid, worden ze in cilindrische staven geboord, die vervolgens op de gewenste vensterdikte worden gesneden en uiteindelijk gepolijst tot de gewenste oppervlakteafwerking.