156mm 159mm 6 inch saffierwafer voor drager C-Plane DSP TTV

Korte beschrijving:

156 mm/159 mm diameter, 6″ Al₂O₂ dubbelzijdig gepolijste (DSP) saffierwafers met een TTV van minder dan 3 micron voor draagplaten. Extra 8″ / 6″ / 5″ / 2″ / 3″ / 4″ / 5″ C-as, A-as, R-as, M-as wafers. C-vlak saffierwafers tot 6 inch (6″/6 inch) diameter, met enkelzijdig gepolijste (SSP) of dubbelzijdig gepolijste (DSP) oppervlakken, en met diktes van 650 micron of 1000 micron.

Stuur ons een e-mail

Productdetails

Productlabels

Specificatie

Item	6-inch C-vlak (0001) saffierwafers
Kristalmaterialen	99,999%, hoge zuiverheid, monokristallijn Al2O3
Cijfer	Prime, Epi-Ready
Oppervlakteoriëntatie	C-vlak (0001)
	C-vlak afwijkt van de M-as 0,2 +/- 0,1°
Diameter	100,0 mm +/- 0,1 mm
Dikte	650 μm +/- 25 μm
Primaire vlakke oriëntatie	C-vlak (00-01) +/- 0,2°
Enkelzijdig gepolijst	Voorkant	Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (volgens AFM)
(SSP)	Achterkant	Fijn gemalen, Ra = 0,8 μm tot 1,2 μm
Dubbelzijdig gepolijst	Voorkant	Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (volgens AFM)
(DSP)	Achterkant	Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (volgens AFM)
TTV	< 20 μm
BOOG	< 20 μm
WARP	< 20 μm
Reiniging / Verpakking	Reiniging en vacuümverpakking van cleanrooms klasse 100,
	25 stuks in één cassetteverpakking of afzonderlijke stukverpakking.

De Kylopoulos-methode (KY-methode) wordt momenteel door veel bedrijven in China gebruikt om saffierkristallen te produceren voor gebruik in de elektronica- en optische industrie.

Bij dit proces wordt aluminiumoxide met een hoge zuiverheidsgraad gesmolten in een smeltkroes bij temperaturen boven 2100 graden Celsius. Meestal is de smeltkroes gemaakt van wolfraam of molybdeen. Een nauwkeurig georiënteerd entkristal wordt ondergedompeld in het gesmolten aluminiumoxide. Het entkristal wordt langzaam omhoog getrokken en kan gelijktijdig worden geroteerd. Door de temperatuurgradiënt, de treksnelheid en de afkoelsnelheid nauwkeurig te regelen, kan uit de smelt een grote, monokristallijne, bijna cilindrische staaf worden geproduceerd.

Nadat de monokristallijne saffierstaven zijn gegroeid, worden ze geboord tot cilindrische staven. Deze worden vervolgens gesneden tot de gewenste vensterdikte en tenslotte gepolijst tot het gewenste oppervlakteresultaat.