156 mm 159 mm 6 inch saffier wafer voor drager C-Plane DSP TTV
Specificatie
| Item | 6-inch C-vlak (0001) saffierwafers | |
| Kristalmaterialen | 99,999%, zeer zuiver, monokristallijn Al2O3 | |
| Cijfer | Prime, Epi-Ready | |
| Oppervlakteoriëntatie | C-vlak(0001) | |
| C-vlak afwijkt onder een hoek ten opzichte van de M-as van 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diameter | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Dikte | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primaire vlakke oriëntatie | C-vlak (00-01) +/- 0,2° | |
| Enkelzijdig gepolijst | Voorkant | Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (gemeten met AFM) |
| (SSP) | Achterzijde | Fijn gemalen, Ra = 0,8 μm tot 1,2 μm |
| Dubbelzijdig gepolijst | Voorkant | Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (gemeten met AFM) |
| (DSP) | Achterzijde | Epi-gepolijst, Ra < 0,2 nm (gemeten met AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| BOOG | < 20 μm | |
| WARP | < 20 μm | |
| Reiniging / Verpakking | Reiniging en vacuümverpakking in cleanrooms van klasse 100. | |
| 25 stuks in één cassetteverpakking of per stuk verpakt. | ||
De Kylopoulos-methode (KY-methode) wordt momenteel door veel bedrijven in China gebruikt om saffierkristallen te produceren voor gebruik in de elektronica- en optische industrie.
Bij dit proces wordt zeer zuiver aluminiumoxide gesmolten in een smeltkroes bij temperaturen boven de 2100 graden Celsius. Meestal is de smeltkroes gemaakt van wolfraam of molybdeen. Een nauwkeurig georiënteerd zaadkristal wordt in het gesmolten aluminiumoxide geplaatst. Het zaadkristal wordt langzaam omhoog getrokken en kan tegelijkertijd worden geroteerd. Door de temperatuurgradiënt, de treksnelheid en de afkoelsnelheid nauwkeurig te regelen, kan uit het smeltbad een grote, monokristallijne, bijna cilindrische staaf worden geproduceerd.
Nadat de saffierblokken van één kristal zijn gekweekt, worden ze tot cilindrische staven geboord, die vervolgens op de gewenste vensterdikte worden gesneden en ten slotte tot de gewenste oppervlakteafwerking worden gepolijst.
Gedetailleerd diagram
