12 inch Dia300x1.0mmt Saffier Wafer Substraat C-Plane SSP/DSP
Marktsituatie voor 12-inch saffiersubstraat
Momenteel wordt saffier voor twee hoofddoeleinden gebruikt: als substraatmateriaal, voornamelijk voor LED-verlichting, en als materiaal voor wijzerplaten van horloges, in de luchtvaart, in de ruimtevaart en voor speciale productieprocessen van vensters.
Hoewel siliciumcarbide, silicium en galliumnitride naast saffier ook beschikbaar zijn als substraat voor leds, is massaproductie nog steeds niet mogelijk vanwege de kosten en enkele onopgeloste technische knelpunten. Saffiersubstraat is de afgelopen jaren sterk verbeterd en gepromoot dankzij de technische ontwikkeling, met name de roosteraanpassing, elektrische geleidbaarheid, mechanische eigenschappen, thermische geleidbaarheid en andere eigenschappen. Het kostenvoordeel is aanzienlijk. Saffier is uitgegroeid tot het meest volwassen en stabiele substraatmateriaal in de led-industrie en wordt veel gebruikt in de markt. Het marktaandeel bedraagt maar liefst 90%.
Kenmerken van 12 inch saffierwafersubstraat
1. Saffiersubstraatoppervlakken hebben een extreem laag deeltjesaantal, met minder dan 50 deeltjes van 0,3 micron of groter per 5 cm in het bereik van 5 tot 20 cm, en de belangrijkste metalen (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) onder de 2E10/cm². Het 30 cm basismateriaal zal naar verwachting ook deze kwaliteit bereiken.
2. Kan worden gebruikt als dragerwafer voor het 12-inch halfgeleiderproductieproces (transportpallets in het apparaat) en als substraat voor bonding.
3. Kan de vorm van concave en convexe oppervlakken regelen.
Materiaal: Hoogzuiver enkelkristal Al2O3, saffierwafer.
LED-kwaliteit, geen bubbels, scheuren, dubbele vlekken, afstamming, geen kleur, enz.
12 inch saffierwafers
Oriëntatie | C-vlak<0001> +/- 1 deg. |
Diameter | 300,0 +/-0,25 mm |
Dikte | 1,0 +/-25um |
Inkeping | Inkeping of plat |
TTV | <50um |
BOOG | <50um |
Randen | Proactieve afschuining |
Voorzijde – gepolijst 80/50 | |
Lasermarkering | Geen |
Verpakking | Enkele wafer-dragerdoos |
Voorzijde Epi ready gepolijst (Ra <0,3nm) | |
Achterkant Epi ready gepolijst (Ra <0,3nm) |
Gedetailleerd diagram

